《材料研究方法及测试技术》(研)()重点.ppt

金属断口 陶瓷断面 羊 绒 荧 光 粉 米 虫 感 光 胶 材料粉末 * * * SEM的分辨率与下列因素有关 ● 扫描电子束斑直径；束斑直径愈小分辨率愈高。 ● 入射电子束在样品中的扩展效应；提高入射电子束的能量对提高分辨率是不利的。 ● 操作方式及其所用的调制信号；二次电子成像分辨率最高，背散射电子像的分辨率较低，吸收电子、X射线、阴极荧光等的成像分辨率更低。 ● 信号噪音比；噪音干扰成像使分辨率下降。 ● 杂散磁场；周围存在杂散磁场使分辨率下降。 ● 机械振动亦使分辨率下降。 SEM的图像 1.背散射电子像：背散射电子信号中包含了试样表面形貌和原子序数的信息，相的衬度既有形貌衬度又有原子序数衬度，可利用它来研究样品表面形貌和成分分布。因其分辨率低，一般主要用它进行成分分析。 2.二次电子像：它分辨率高、无明显阴影效应、景深大、立体感强，是SEM的主要成像方式。它主要反映试样表面的形貌特征。 3.吸收电子像：它与背散射电子像一样包含成分和形貌两种信息。 教材上图2-79、2-81、2-85、2-88给出了铁断口几种方式所成的像。 SEM的图像 SEM图像的衬度 ▲ 形貌衬度：是由于试样表面形貌差异而形成的衬度。可得到形貌衬度像。二次电子像的衬度是最典型的形貌衬度。 ▲ 原子序数衬度：是由于试样表面物质原子序数差异而形成的衬度。背散射电子像、吸