A阻抗式传感器解读.pptVIP

高压腔 图2-25 固态压力传感器 P 硅膜片 低压腔 引线 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 低压进气口 图 压阻式加速度传感器 集成电路工艺制成的扩散电阻 硅梁 质量块 基座 压阻式加速度传感器 桥梁应力的测量 斜拉桥上的斜拉绳应变测试 作业 P77 第3题 P198 第10题 补充题1：以阻值R=120Ω,灵敏系数K=2.0的电阻应变片与阻值120 Ω的固定电阻组成电桥，电桥供电电压3V，假定负载电阻为无穷大，当应变片接受应变为2000με时，分别求出单臂等臂电桥、半差动等臂电桥的输出电压、灵敏度，画出电桥电路图。 补充：灵敏度 K=Δy/Δx 灵敏度是传感器对被测量变化的反应能力，是传感器的基本指标。 传感器输出的变化量 Δy与引起该变化量的输入变化量 Δ x之比即为其静态灵敏度，其表达式为 灵敏度：此应变电桥灵敏度： S=Uo/ε * * * * * * 一、应变效应的理论基础 1．金属导体的 电阻(线材) 2r A =πr 2 L 给出了总电阻的相对变化量与其它三个量的相对变化的关系。在力的作用下，L、A、ρ均可发生变化，R 也就发生变化。 应变式电阻传感器 L：长度，A截面积、ρ电阻率 两边取对数再微分 轴向线应变 金属材料的应变电阻效应以结构尺寸变化为主，包括轴向应变和径向应变。 应变片用于测量力F的原理 由材料力学可知,材料在弹性变形阶段，应力与应变成正比例关系，比例系数为E,称为材料的弹性模量。  因此，将应变片牢固粘贴在试件或力敏感器上，如果应变片的灵敏系数K和试件的横截面积A以及弹性模量Ｅ均为已知，则只要设法测出?R /R 的数值，即可获知试件受力Ｆ的大小。 应力 对于轴向应变(ε) 在材料力学中，? =?l / l 称为电阻丝的轴向应变，也称纵向应变。? 通常很小，常用10-6表示。例如，当? 为0.000001时，在工程中常表示为1? 10-6或?m/m。在应变测量中，也常将之称为微应变(1με)。1000 με ＝0.001? 图４－1-4应变片的基本结构 由金属或半导体制成的应变-电阻转换元件称为电阻应变片，简称应变片。 二、应变片的种类与结构 应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、箔式、薄膜式三种。材料主要是康铜。 （1）金属丝式应变片使用最早，金属丝易脱胶，有逐渐被箔式所取代的趋势。 （2）箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金。 （3）薄膜式应变片采用真空蒸镀等方法，在薄的基底材料上制成金属薄膜形成应变片。其灵敏度系数较高，允许电流密度大，工作温度范围广。 图４－1-5丝式应变片与箔式应变片 (a)电阻丝式应变片(b)箔式应变片 箔式应变片的外形 测量转换电路——不平衡电桥 金属应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表测量其电阻值的变化将十分困难，且误差很大。 应变电桥 电阻应变传感器接入电桥原则 因温度引起的电阻变化是相同的，因此，若把电阻传感器接在电桥横跨电源的相邻两臂，温度引起的电阻变化将互相抵消。 若两个电阻应变传感器的电阻变化符号相同，应接在电桥的相对两臂，能提高输出，但不能减小温度影响和非线性误差。 若两个电阻应变传感器的电阻变化符号相反，应接在电桥横跨电源的相邻两臂，组成差动电桥，能提高输出，并减小温度影响和非线性误差。 应变片接入电桥方式 (1)单应变片工作， (2)双应变片工作，把两应变片接入横跨电源的相邻两臂，另两臂接固定电阻。 （3）四应变片工作 把四个应变片接入电桥四臂，粘贴时使其中一对相对桥臂受拉力，另一对相对桥臂受压力。 R1 R3 R2 R4 F F 应变片的温度误差及补偿 温度补偿 由于测量现场环境温度的改变， (1)引起应变片电阻变化（ΔRtα） (2)试件材料与应变片材料线膨胀系数不同，使应变片产生附加变形。（ΔRtβ） （1）补偿块法 R1是工作应变片,承受机械应变。 R2 是温度补偿应变片，不承受机械应变。 R1 , R2 接入横跨电源的相邻桥臂。 能消除单应变片 工作时产生的温度误差。 （2）差动电桥补偿法 R1 R2 R1 R2 R3 R4 应用悬臂梁测力时，可以将两个参数相同的应变片分别贴于梁的上下两面对称位置。 五、应变效应的应用 应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变、应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。 电阻应变片的应用可分为两大类