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3.6.2 微细加工工艺方法 从基本加工类型看，微细加工可大致分四类： 分离加工——将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射(可去除材料，也可增加材料)、破碎等 接合加工——同种或不同材料的附和加工或相互结合加工，如蒸镀、淀积、掺入、生长、黏结等 变形加工——使材料形状发生改变的加工方式，如塑性变形加工、流体变形加工等 材料处理或改性，如一些热处理或表面改性等 * 第五节 快速原型制造技术 3.5.1 RPM技术的产生和发展 3.5.2 RPM技术原理 3.5.3 典型的RPM工艺方法 3.5.4 RPM技术的应用 80年代末RPM技术首先在美国问世； 工业国家称RPM技术是继数控技术后又一场技术革命； 我国92年进入RPM领域； 清华大学、西安交通大学、华中科技大学、北京隆源等单位在RMP设备、材料和软件方面先后完成了开发和产业化过程； 我国MRP许多关键技术达到或领先国际先进水平。 ? 3.5.1 RPM技术的产生与发展 利用CAD软件，设计出产品的三维模型或实体模型； 利用切片软件，将CAD模型离散化，即沿某一方 向分层切片，分割成许多层面，获得各层的轮廓数 据； 在计算机分层信息的控制下，通过一定的手段 和设备，顺序加工出各层面的实体轮廓形状； 通过熔合、粘结等手段，使获得的各实体层面 逐层堆积成一体，从而快速制造出所要求形状的零 件或模型 即采用“分层制造，逐层叠加”的“增长法” 成型工艺 3.5.2 RPM技术原理 RPS 分层切片 STL文件 CAD模型 三维数字化仪等 CAD造型系统 1、光敏液相固化法(SLA) 激光成形机中的激光束按数控指令扫描，使盛于容器内的液态光敏树脂逐层固化并粘结在一起。 特点：可成形任意复杂形状零件；成形精度高，达±0.1mm；材料利用率高，性能可靠。 不足：材料昂贵，光敏树脂有一定毒性。 3.5.3 典型的RPM工艺方法 SLA工艺原理图 2、选区片层粘结法（LOM） LOM 法是利用背面带有粘胶的箔材或纸材通过相互粘结成形的。 特点：成形速度快，成形材料便宜，无相变、无热应力、形状和尺寸精度稳定 不足：成形后废料剥离费时，不宜制作薄壁零件。 LOM工艺原理图 3、选区激光烧结法（SLS） SLS工艺是采用粉末状材料成形的。用激光束在计算机的控制下有选择地进行烧结，被烧结部分固化在一起构成了零件的实心部分。 特点：取材广泛，包括各种可熔粉末材料，不需要支撑材料。缺点是成形速度较慢，由于粉末铺层密度低会导致精度较低和强度较低。 SLS工艺原理图 1-激光器 2-铺粉滚筒 3-激光窗 4-加工平面 5-原料粉末 6-生成零件 4、熔丝沉积成形法 （FDM） FDM是由计算机根据CAD 模型确定的几何信息控制FDM 喷嘴, 将使用的材料通过加热器的挤压头熔化成液体, 使熔化的热塑材料丝通过喷嘴挤出, 挤压头沿零件的每一截面的轮廓准确运动, 挤出半流动 FDM工艺原理图 的热塑材料沉积固化成精确的实际部件薄层, 覆盖于已建造的零件之上, 并迅速凝固, 形成一层材料。 特点：无需激光系统，设备简单，运行费用便宜，尺寸精度高，表面光洁度好，适合薄壁零件。 不足：需要支撑材料。 FDM工艺原理图 3.5.4 RPM技术的应用 RPM的应用 快速模具制造工艺方法 第六节 微细加工技术 3.6.1 微机械及其特征 3.6.2 微细加工工艺方法 3.6.3 微细加工技术的发展与趋势 微小机械 1-10mm；微机械 1μm-1mm； 纳米机械 1nm-1μm。 体积小、精度高、重量轻 如直径如发丝的齿轮、开动3mm大小的汽车、花生米大的飞机、在5mm2内放置1000台的微型发动机。 性能稳定、可靠性高 微机械体积小，热膨胀、噪声、挠曲等影响小，具有抗干扰性，可在较差环境下稳定的工作。 能耗低、灵敏度、工作效率高 不存在信号延迟问题，可进行高速工作。 消耗的能量远小于传统机械 如5*5*0.7mm3微型泵流速是比其体积大得多的小型泵流量的1000倍。 多功能和智能化 集传感器、执行器、信号处理和电子控制电路为一体，易于实现多功能化和智能化。 制造成本低 类似半导体制造工艺。 ? 3.6.1 微机械及其特征 1、超微机械加工 利用超小型机床制作毫米级以下的微机械零件 难点：微型刀具制造、刀具姿态、加工基准定位等 微型超精密加工机床结构示意图 为车、铣、磨、电火花加工的多功能微型加工机床，最小设定单位为1nm，单晶金刚石刀具，刀尖圆弧半径为100nm左右 2、光刻加工 氧化 硅晶片表面形成一层氧化层； 涂胶 涂