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第 七 章（2） §7.3 相 位 调 制 一、概 述 利用光相位调制来实现一些物理量的测量可以获得极高的灵敏度。其开发应用已有一百多年的历史，广泛应用于高分辨率实验室测量装置。 相位调制的灵敏度极高，据报道，可探测10-14m光程差引起的相位变化（对 于 0.83μm光波），这相当于一个原子核直径的大小。 但是，以自由空间作干涉光路的一般干涉仪，由于其体积大，空气易受环境温度、声波及振动的影响，使干涉测量不稳定、准确度低，同时调整也较困难，故限制了它在一般场合下的实用性。 光纤干涉仪的优点 用光纤代替自由空间作干涉光路的光纤干涉仪有两个突出的优点： 一 是减少了干涉仪的长臂安装和校准的固有困难，并可使干涉仪小型化； 二 是可以用加长光纤的方法使干涉光路对环境参数的响应灵敏度增加。 这样，传统的光学干涉仪从实验室中走了出来，并成为高机械强度和精密灵活的生产现场使用的仪表。 二、调 制 原 理 相位调制光纤传感器的基本传感原理是： 通过被测能量场的作用，使光纤内传播的光波相位发生变化，再用干涉测量技术把相位变化转换为光强变化，从而检测出待测的物理量。 一般说，应力、应变、温度等外界物理量能直接改变下述三个波导参数，产生相位变化，实现光纤的相位调制。 光纤中传导的光，其相位变化取决于外界物理量产生的光纤波导的下面三个参数的变化。 ①光纤物理长度的变化 （轴向应变伸长、热膨胀引起的伸长、泊松比变化引起长度伸长） ②光纤折射系数及分布的变化 （温度引起、光弹效应） ③光纤横截面几何尺寸的变化（压力、通过泊松比产生的横向应变、热膨胀） 外施温度对光纤的热影响是最简单的情况。此时可只考虑温度对长度和折射率变化而忽略温度引起的直径变化。则 PZT相位调制器 实现纵向、径向应变最简便的方法是： 采用一个空心的压电陶瓷圆柱筒(PZT)，在这个圆柱筒上缠绕一圈或多圈光纤，并在PZT上施加驱动信号。 由于PZT筒的直径随驱动信号变化，故缠绕在其上的光纤也随之伸缩。光纤承受到应力，光波相位将随之变化。 在驱动信号电压约 30V、频率为kHz范围、PZT 筒直径为2.54cm 时，可获得每圈几孤度的相位延迟。 光纤相位干涉仪若采用这样的 PZT 相位调制器可以探测到小至0.1rad 的相位变化。 光纤相位调制器 产品介绍： 基于低成本光纤围绕 PZT 设计，典型应用于开环调制，传感模拟和干涉相位调制。 该器件的性价比要超过目前世界上所有同类产品，且结构紧凑尺寸小，可配各种光纤接头，易电驱动及安全装简单； 这些特点都是源自于我们国外厂家独一无二的多层光纤围绕技术。 三、相位调制实用技术 1、迈克尔逊干涉仪 单色光经分束器分为光强相等的两束光： 一束射向固定反射镜，然后反射到分束器，被其透射部分，由探测器接收； 另一束入射到可移动反射镜上，然后反射回分束器，经分束器反射的部分也传到探测器； 当两路光程差小于激光器的相干长度时，传到探测器的两束光会产生干涉。 迈克尔逊干涉仪示意图 迈克尔逊干涉仪 这是一种基本形式的干涉仪。除激光器的电源以外，所有的部件都安装在一个平台式的基座上。 全光纤迈克尔逊干涉仪 为了克服空气受环境条件影响所导致的空气光程的变化，可考虑用全光纤干涉仪结构。 图表示迈克尔逊全光纤干涉仪的结构。图中以一个3dB耦合器取代了分束器，光纤光程取代了空气光程，而且以敏感光纤作为相位调制元件。 这种全光纤结构不仅避免了非待测场的干扰影响，而且免除了每次测量要调光路准直等繁琐的工作，使其更适于现场测量，更接近实用化。 全光纤迈克尔逊干涉仪 2. 马赫－泽德(曾德尔)干涉仪 图是马赫—泽德干涉仪的原理图。它与迈克尔逊干涉仪有一些相同之处。 同样，从激光器输出的光束先分后合。 两束光由可动反射镜的位移引起相位差，并在光探测器上产生干涉。 这种干涉仪也能探测小至 10-14m的位移。 马赫－泽德干涉仪示意图 与迈克尔逊干涉仪之区别 1、它没有或很少有光返回到激光器，返回到激光器的光会造成激光器的不稳定噪声，对干涉测量不利。 2、由图可以看到，从分束器2向上还有另外两束光，一束是上面水平光束的反射部分，另一束是垂直光束的透射部分。 如果需要，也可以用这两束光的干涉光强获得第二个输出信号。这在一些应用上是很方便的。 马赫—泽德全光纤干涉仪 作为一个工程实用的传感器，最好采用全光纤干涉仪。 图表示马赫—泽德全光纤干涉仪的基本结构，以这个基本结构为基础还有很多变形结构。它的两个臂都使用光纤，且光的分路与合路也都是用3 dB光纤耦合器。 其优点是