第5章压电式传感器解析：.pptVIP

传感器原理及应用——第五章 压电式传感器 光电工程学院 2012年 压电薄膜 压电式脚踏报警器 压电喇叭（逆压电效应） 5-1压电效应 某些电介质，当沿一定方向对其施加外力导致材料发生形变时，其内部将发生极化现象，某些表面上也会产生电荷；当外力去掉后，又重新回到原来的状态。这种现象称之为压电效应。反过来，在电介质极化方向施加电场，它会产生机械变形；当去掉外加电场时，电介质的变形随之消失。这种将电能转变成机械能的现象称为“逆压电效应”或称之为电致伸缩效应。 石英晶体在轴向力作用下在垂直于轴的晶体表面产生电荷的现象，称为纵向压电效应（X-X）。在石英晶体线性弹性范围内，x轴向力使晶片产生形变，并引起极化现象，极化强度与作用力成正比，极化方向决定于作用力的正向，极化后在晶体表面所产生的电荷极性如下图所示。 表面电荷 5-3 压电式传感器测量电路 5-4 压电式传感器的应用 作业 5-1 5-6 5-7 铌镁酸铅是 20 世纪 60 年代发展起来的压电陶瓷。 它由铌镁酸铅(Pb（Mg ·Nb ）O3)、 锆酸铅(PbZrO3)和钛酸铅(PbTiO3)按不同比例配成的不同性能的压电陶瓷, 具有极高的压电系数和较高的工作温度, 而且能承受较高的压力。  一、 压电式传感器的等效电路 由压电元件的工作原理可知, 压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时, 它也是一个电容器, 晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板, 极板间物质等效于一种介质, 则其电容量为   式中: S——压电片的面积;  t——压电片的厚度;  εr——压电材料的相对介电常数。 因此, 压电传感器可以等效为一个与电容相并联的电压源。 电容器上的电压Ua、电荷量q和电容量Ca三者关系为  Ua = 压电传感器也可以等效为一个电荷源。 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接, 因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc, 放大器的输入电Ri, 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra, 这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路。 电压传感器的等效电路 压电传感器的实际等效电路 二、 压电式传感器的测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高, 而输出能量较小, 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为: 一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗; 二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号, 也可以是电荷信号, 因此前置放大器也有两种形式: 电压放大器和电荷放大器。 1. 电压放大器（阻抗变换器） 电压放大器电路原理图及其等效电路。  电阻R = RaRi/(Ra+Ri), 电容C = Cc+Ci, 而ua = q/Ca, 若压电元件受正弦力f = Fmsinωt的作用, 则其电压为（压电陶瓷） 电压放大器电路原理及其等效电路图 式中: Um——压电元件输出电压幅值Um = dFm/ Ca; d—压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui, 其复数形式为 的幅值为 输入电压和作用力之间相位差为 在理想情况下, 传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大, 理想情况下输入电压幅值Uim为 上式表明前置放大器输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω03时, 就可以认为Uim与ω无关, ω0表示测量电路时间常数之倒数, 即ω0=1/［R（Ca + Cc + Ci）］。 这表明压电传感器有很好的高频响应, 但是, 当作用于压电元件力为静态力（ω=0）时, 则前置放大器的输入电压等于零, 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉, 所以压电传感器不能用于静态力测量。  当ωR（Ca+ Cc+Ci）〉〉1 时, 放大器输入电压Uim，Cc为连接电缆电容, 当电缆长度改变时, Cc也将改变, 因而Uim也随之变化。因此, 压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换, 否则将引入测量误差。  电荷放大器等效电路 2. 电荷放大器 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路, 由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成, 当略去Ra和Ri并联电阻后, 电荷放大器可用