硕士课题论证分析报告.docVIP

南 京 航 空 航 天 大 学 攻读硕士学位研究生 课 题 论 证 报 告 姓 名 陈建云 学 号 SX1105207 专 业 机械设计及理论 研究方向 薄膜摩擦学 指导教师 周飞教授 年 月 日 课题名称：Cr-B-C薄膜的制备及摩擦学特性的研究 1.课题背景 到目前为止，对硬质薄膜的研究已经取得了很多突破性成果。从最早开始研究的金属氮化物涂层，到后来的金属多元复合涂层和类金刚石涂层，都表现出较高的硬度，较好的摩擦学性能和抗腐蚀、抗氧化的性能，有些已经广泛应用于工业加工中。近年来，很多学者发现碳化硼作为硬度仅次于金刚石和立方氮化硼的超硬材料，也具有很好的应用前景[1]。所以就有了对B-C基薄膜材料的大量研究。 目前，油基润滑系统已经被广泛用于现代机械中的驱动系统。然而在一些特殊领域，润滑油的泄漏和燃烧易污染自然环境，并损害人类的身体健康。为了解决我国面临的环境污染和能源浪费等问题，人们提出用水润滑系统来替换油润滑系统。众所周知，水具有安全无污染、价廉易得、优异的冷却性能等优点，是一种有着广阔发展前景的润滑介质，而被用于核水电冷却系统、工业水压系统、水泵、食品加工机械、制药、健康保健和护理设备等领域。但水的沸点低、粘度低、氧化性强，因此成膜能力差，易造成金属摩擦副的氧化腐蚀和粘着磨损[2]。若在水润滑金属部件滑动表面沉积B-C基金属复合涂层，既能利用金属材料的优良力学性能，又能利用碳化硼本身的性能，可以满足摩擦部件低摩擦系数和低磨损率的要求。综上所述，面对保护环境、节约能源和人类健康的重大要求，研究与水润滑相匹配的低摩擦系数和低磨损的B-C基薄膜材料将具有重大意义。 2.国内外研究现状 碳化硼首先由Joly在1883年成功制备，标记为B6C，1934年，Ridgeway建议组成为B4C，但至今仍有争议[3]。人们制备碳化硼薄膜的方法也有多种，比如气相沉积法、等离子喷涂法、气相转换法、反应烧结等方法[18-20]。碳化硼由于具有高硬度、高弹性模量、化学性质稳定、良好的力学稳定性、很低的热膨胀系数等一系列优良性能，很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。 尽管碳化硼获得了广泛的应用，但经过大量研究发现碳化硼也有其缺点，比如断裂韧性很低、抗氧化能力较差、对金属的稳定性较差[4]。为了进一步改善其性能，国内外学者们发现在B-C基的基础上加入过渡族金属元素可以降低薄膜的摩擦系数和磨损量，可以提高其抗腐蚀和抗氧化的能力。 2010年，M.D.Abad等人用磁控溅射的方法，利用TiC︰TiB2陶瓷靶[5]和石墨靶制备出了元素含量不相同的Ti-B-C薄膜，并发现所制备的Ti-B-C薄膜硬度最高可达30.7GPa，弹性模量最高为216GPa，H/E最大为0.142，H3/E2最大为0.617，这说明Ti-B-C薄膜有较大的韧性和塑性变形抗性，这是由于薄膜有较高的硬度[6,7]。而且还发现，随着碳元素含量的增加，薄膜的摩擦系数和磨损率都很明显的降低，碳含量为31%增加到71%，摩擦系数由0.79降为0.1，磨损率则从2.1×10-5mm3/Nm降低到7.1×10-7mm3/Nm。当碳含量较低(30%～45%)时，薄膜的摩擦系数和磨损率变化不大，摩擦系数在0.7左右，磨损率在2.0×10-5mm3/Nm左右。当碳元素含量增加到50%以上时，薄膜的摩擦系数和磨损率迅速降低，碳含量为71%时降到最低[8]。2012年，J. Lauridsen等人用磁控溅射的方法，在超高真空沉积系统中[9,10]，利用B4C、Ti和石墨三种靶材在不同基体上制备出了Ti-B-C纳米复合涂层。详细描述了所制备的几种薄膜的元素含量和各元素之间的结合方式，并分析了B元素的薄膜中的分布[11,12]和机械性能。这种方法制备的Ti-B-C薄膜的硬度低于TiC[13]，并没有因为加入了B元素而增加[12,14-16]。而且元素含量不同的几种薄膜的摩擦系数变化不明显，说明游离碳的不会改善薄膜的摩擦学性能[17]。 课 题 研 究 方 案 1.具体的研究内容、研究目标和拟解决的关键问题 研究内容： Cr-B-C薄膜的制备工艺 根据现有的文献资料和实验室所具备的实验条件，确定采用磁控溅射的方法制备Cr-B-C薄膜，参考已有的Ti-B-C薄膜的制备工艺确定Cr-B-C薄膜制备参数。 不同工艺参数对Cr-B-C薄膜组成成分的影响 采用B4C靶和铬靶共同溅射的方式