静电气的概念与相应对策(34页)行业）详解.ppt

◆教育内容 1. 什么是静电气？ 2. 带电的种类和 MECHANISM 　　3. 带电例 4. ESD MODEL 5. 半导体基本内压和用语别电阻植 6. 静电气对策基本思想 7. Shielding bag 基本构造 8. 静电气管理必须计策器 9. 静电气计策的过去和今天 10. 静电气管理 Manual 11. 静电气管理处理 Flow 12. 温,湿度和静电气关系 13. 电烙铁电阻测定 14. 静电气和 COULOMB 15. 导电MAT的构造 16. 导电MAT 的作用 17. 接地方法 18. 等离子的原理 19. 等离子的管理方法 20. 理想的作业工程 * * 2005.03.16 静电气的概念和相应对策 　　MSC　OP 2部 1/33 ?　物体储蓄正(+)或者负(-)电荷的状态叫做 “帯电”状态. 物体静止时的电状态叫做“静電気”. ?电有正电(+)和负电(-)2种. 所有的物体都是由原子构成的. 正（＋）带电状态 原子的构造 电子受到光,热等外部 力量后,从原子核脱出 成为自由移动的自由 电子. ー ー ー ー ー ー + 5 ー 自由电子 1. 什么是静电气？ ー ー ー ー ー ー ー 電子 陽子 + + + + + 中性状态. 静电气发生 ー ー ー ー + 5 ー ー 负（- ）带电状态 2/33 2.带电的种类及MECHANISM (1) 带电的种类; ①接触带电　（FILM、纸）　　 　 　 ②分离带电　（脱作业服时,取掉LEVEL时 ）　　 　 　　 ③摩擦带电　（带电物的接近）　 　　　 (2) 带电的MECHANISM 物質A ＋　－ ＋　－　＋　－ ＋　－　＋　－ ＋　－ ＋　－ ＋　－ 物質B 物質A 物質B 物質A ＋　＋　－ ＋　＋　－ ＋ －　－　＋ －　－　＋ － 物質B ＋　＋　－ ＋　＋　－ ＋ －　－　＋ －　－　＋ － －　＋ 物質A ＋　－ ＋　－　＋　－ ＋　－　＋　－ 中性 ＋　－ ＋　－ ＋　－ 物質B 静电荷 负电荷 ?与物质Ａ、Ｂ中性状态 ?接触,冲击时电子会移动 ?以电荷的移动带电 中性 静电气发生 3/33 3.帯电列 POLYESTER 空气 ACRY 硝子 NYLON 雲母 锡 绢 ALUMINIUM 纸 POLY URETHANE VINYL TEFLON 木棉 铜 硬质橡胶 NICKEL铜 银 硫黄 NEON URETHANE 4/33 随着物质的不同,带电电荷的符号不同. － ＋ 4.ESD MODEL 了解一下因ESD放电导致电子部品的热化及破坏. 第一, 因人体的接触制品被充电或放电. 第二, 制品本身起KIE PE XI TE作用，而充电或放电的 情况. 搬运过程或自动移送过程中容易发生摩擦起电的物质（PLASTIC种类） 带电，会对电子部品的低电阻PIN等表面迅速放电而导致损伤的情况. 第三，被电界充电的部品充电量变的情况. 在带电物和部品之间的静电感应状态下，因带电物的突然性位置变化及 静电感应急激变化而对绝缘及氧化层产生影响导致Short Circuit 的情况。 第二，第三之例 如右图，电子部品的 金属（IC PIN）接近带电物时会发生静电感应. 离带电物近的部分感应与带电五反极性的电荷，而离带电物远的部分 会感应与带电物相同极性的电荷；在这个状态下一侧的PIN与基板接触 时，与带电物同极性的电荷流入到接地而引起放电。然后，带电物远离 （举起）时，与带电物反极性的电荷会引起放电的现象发生；因这种 现象破坏的情况也有。 ESD ＝Electrostatic Discharge , 静电防电 5/33 ●Surge导致LD破坏的Mechanism 超过定额的强光出力进到激光 出射面会破损成damage (COD发生). Laser Chip Laser光出力 绝对最大定额 COD破坏 定额 光出力 Iop 驱动电流(A) COD:Catastrophic Optical Damage 6/33 ? Conductive (导电层): ～10*6 [?/sq] ? Static Dissipative (静电层) : 10*7 ～10*10 [?/sq]