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第三章 产品几何性能检测 主要包括：长度、角度、几何形状、相互位置、表面几何特性及传动件误差检验。 一、产品长度检测： 从几何学看长度：点与点、面与面、线与线之间距离。 从产品角度看：圆柱体（直径、高度等）立体高度、宽度、孔和槽、孔间距、轴心距等等。 1.长度检测器具： 测量方式分：大类：接触式和非接触式。 转换原理又有：机械、光学、电学、光电、气动、超声等。 接触式：应用广泛、注意测量力的影响、不能使工具和工件变形。 非接触式：精度高、响应速度快。 量具注意它的分度植、精度、测量范围、根据被测物要求进行选取。表3-1。 2.产品外径和内径检测： ⑴用激光扫描法测外径： 介绍二个部件：A.激光. 全反 工作介质 部份反 B.准直光学系统: 图3-1.测量范围1～500mm。 精度±0.25～±5um。 ⑵透明线直径的检验： 基准1. 基准二根非透明丝和透明的被测棒相互形成60°角交叉在一起有一个中心点在屏幕上透明丝衍射图象与其直径有关，越细衍射图离中心而动反之朝中心移动。 测量范围几十微米至几百微米。 ⑶线材直径在线测量：由图3-4，截取一半看下图 ， 从以上讨论得出d直线的直径变化可通过△X的来测量。下面用二个不同直径的滚轮，通过角速度变化来在线测量被测线的直径：图3-5 被测线6 直径为d ，放在二个旋转轮2 5上。 二轮直径不同切线夹角α 设在线速度V、R1在线中心（）到轮2中心距离R2在线中心（）到轮5中心距离 所以轮角速度分别 角速度之比K , 当α.R2.R1.不变K1可看常数,通过测频ω1,ω2即图中4 除法器3可获得K 因K1常数, 可测得d 这种装置可连续测量。 这种方法可测0.06～5mm线材 误差±0.5％ 线运动速度20～40m/min ⑷用干涉法测径: 干涉:当二束单色光(波长相同)选在一起,由于相位有差别,交选后出现亮暗不同,有规律区,称光的干涉。 以迈克尔逊干涉仪为例说明。 　　　　 S光源→G2→反射→G2/M1 透射→M2 M1→G2→G1→L2 M2→G1→L2 最后产生干涉条纹,零级\一级\一级最亮.M2移动,程差改变,亮点移动位置,利用亮点移动可测M2移动距离. 干涉法测内径光运行路程: 准直白光为光源→半反射镜1.分成二束光:一束透射→中性滤光片→参考镜→半反射镜1 另一束反射→补偿镜→薄膜半反镜.又分二个支路光: 第一支路反射到→工作件右壁→薄膜半反镜→补偿镜→半反射镜1 第二支路透过薄膜半反镜→平面镜→薄膜半反镜→工作件左壁→薄膜半反射镜→平面镜→薄膜半反镜→补偿镜→半反射镜1 光束如此运行后,反映了工作件左右壁距离。 实际操作开始由望远镜观察干涉条纹调节干涉仪参考镜面使看到零级干涉亮点记参考镜位置再移动干涉条纹使零级再次出现相同位置,干涉读数X是X=2D. 这个值是很精密的不确定度可达±0.11μm. 3.产品厚度检测: 在工业生产中有众多产品需要测厚度,如钢板、橡胶、各种薄膜，以及薄的镀层等，不同对象有不同方法，目前有，激光三角法、超声法、电容法、涡流法、射线、X射线法。具体采用哪一方法视产品特性而定，没有一个方法可以万能的。 ⑴激光三角测厚法： 测量范围16mm左右,精度±0.1％～±0.2％ ⑵超声波测厚法: 有些介质:如石英.陶瓷等 加上交变电压产生超声波,超声波频率4～5MHz称为电声转器.超声波会在介质中 传播 反之,在介质上加压且交变振动会产生交变电压称为声电转换。 超声具有方向性好,波长短,穿透力强,可穿透10m,在钢材中5920m/秒,铝6260m/秒.丙烯树脂2730m/秒,探测头和发射头一组可测产品厚度。 ⑶用电容法检验厚度： 对薄型或超薄型导电膜、镀层可用电容法检测 图3—11(a)被测薄体电阻R0，与两个电极板组成两个电容阻抗为Z1 ，Z2 ，薄膜测点到电路电阻R1 ，迴路交流电压U 。由等效电路图3—11(b) 得到 当薄膜处于中央： 则 图3—11 若R1与薄膜厚有关，又I与R1有关通I测量可知薄膜厚度。R1→0，I→0反之薄膜厚度减小R1→∞，I→大。用标准样品定标，就可得厚度数据。 接触测量总有局限性，可采用图3—12方法。 图3—12 等电位无接触“接零” 等位法：使a，b电位相等。