精密机械微位移机构设计理论及典型要点详解.pptVIP

1. 滑动直线导轨设计的主要内容 ●六项基本要求及评价参数 ●结构设计：导轨截面、导轨组合 ●材料及工艺 2.机座与机架结构设计 ●机座类型：板、梁、柱经典结构和组合 ●机座材料：铸铁（钢）、花岗岩 ●机架类型：重载焊接结构、轻载焊接结构 ●及架材料：各类钢及铝合金型材 上次课程主要内容 26/01 第8章 微位移机构 微量位移机构——精密机械与仪器的关键技术 现代高精度工业制造达到纳米（nm）级水 平，微位移技术已成为制约整个设备（整体） 最高性能的瓶颈。 微电子技术 微系统及超精密加工 激光通讯技术及装备 精密光学 26/02 理论基础 §8.1 低速微动的平稳性 1. 爬行现象及过程 （1）精密机械系统运行参数 ●低速进给运动(0.05-1.00mm/min) ●实现微小位移(0.1-2.0μm) （2）爬行现象 进给系统中在主动件匀速驱动的条件下，从 动部分运动速度呈现明显的不均匀。 26/03 （3）产生爬行的原因 实际上低速、微位移条件下的滑动摩擦极 其复杂，爬行是一种摩擦自激振动现象。 ●相对运动摩擦系数变化 ●驱动机构的刚度不足 26/04 匀速驱动 非匀速运动 F F ′ F0 驱动机构物理模型 2. 相关理论 （1）物理模型运动微分方程 主动件开始驱动进给机构时为初始时间， 令t=0；此时弹簧处于自由状态，经过时间t 后，从动件有位移x，则运动方程式为微分方 程，有如下关系： 26/05 匀速驱动 非匀速运动 F F ′ F0 （2）运动、动力分析 微分方程中： 主、从动件速度差 —— 主、从动件相对位移 —— 驱动无爬行现象的条件： 应满足： ； 令此时位移为xm， 则有： 26/06 运动微分方程： 讨论： 该方程右端分子为 摩擦力，不可能为零； 唯有增加分母的系统刚 度k，能减轻爬行。 3. 机械爬行对精密机械的危害 （1）影响加工精度 加工进给不均匀，造成已加工面表面刀 痕不均匀，影响尺寸精度、表面质量。 （2）影响定位精度 相同驱动条件下，系统重复定位精度出 现随机变化。 （3）损坏构件、刀具 （4）增大机械故障概率 26/07 爬行研究相关理论与技术： ●微小型理论基础 ●微小型化的尺寸效应 ●微结构设计数据库 ●有限元和边界分析 ●CAD/CAM仿真和模拟技术 ●微系统建模 如：力的尺寸效应、微结构表面效应、 微观摩擦机理、热传导、误差效应、 微构件材料性能等 26/08 4. 影响爬行的因素及消除措施 26/09 （1）影响爬行的因素 1）摩擦系数变化 ●静止状态下静摩擦系数变化； ●边界摩擦状态的静、动摩擦之差； ●运动状态动摩擦变化； 2）运动件的质量较大时的惯性问题； 3）中间驱动机构刚度不足； 4）环境条件不变时，从动件速度存在产生爬行 的下限值。 （2）消除（减轻）爬行的措施 1）提高进给传动系统的刚度 ●结构改进： 合理布置承力构件、缩小支承跨度、减小 传动间隙、缩短传动链、缩短丝杆长度等。 ●尺寸优化： 关键承力构件尺寸；尽量减小运动件质量 提高刚度；加粗丝杠直径等 26/10 2）减轻（稳定）摩擦力 关键问题：减少和稳定运动过程摩擦力 ●结构措施： 运动副材料、滚动摩擦及流体静压(空气、 液压)摩擦；合理设计卸荷装置。 ●工艺措施： 导轨的制造与装配质量；合理选择润滑方 式；正确的使用和维护。 26/11 §8.2 微位移机构的主要类型 组成：微位移机构、检测装置、控制系统 核心问题：微位移机构设计 ●毫米级小行程 ●微米和纳微米级灵敏度和精度。 常用微位移机构分机械式 和机电式 两大 类，由微位移器 和精密导轨 两部分组成。 26/12 精密机械制造领域： 各类加工装备 26/13 立式镗床 进刀机构 电火花加工 进刀机构 工作台两轴 进刀单轴 精度等级： 0.005mm 精度等级： 0.001mm 精密多功能车铣床 重荷载精密 伺服电机驱动系统 精密数控冲床工作台 微位移机构选择： 典型微位移机构包括： ●机械传动微位移机构 ●热膨胀微位移机构 ●磁致伸缩微位移机构 ●压电陶瓷微位移机构 ●弹性变形微位移机构 26/14 1. 机械传动微位移机构 机械传动微位移机构主要：丝杠螺母机构等 螺旋—斜面传动；螺旋—杠杆传动； 齿轮—杠杆传动；蜗轮—凸轮传动； 其他机构如：摩擦传动、弹性传动等。 实例1：螺旋微动机构 利用丝杆转角与轴向位移的比例关系达到 微量进给目的。