04电容式传感器教程讲解.pptVIP

（2）注意传感器的接地和屏蔽　　 图为采用接地屏蔽的圆筒形电容式传感器。 图中可动极筒与连杆固定在一起随被测量移动。可动极筒与传感器的屏蔽壳（良导体）同为地，因此当可动极筒移动时，固定极筒与屏蔽壳之间的电容值将保持不变，从而消除了由此产生的虚假信号。 引线电缆也必须屏蔽在传感器屏蔽壳内。为减小电缆电容的影响，应尽可能使用短而粗的电缆线，缩短传感器至电路前置级的距离。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 （3）集成化　　 将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去传感器的电缆引线。这样，寄生电容大为减小而且易固定不变，使仪器工作稳定。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术　　 适用情况：当电容式传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度较高)，测量电路只能与传感器分开，不能放到一个盒子里。 引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术　　 外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。 采用这种技术可使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 （5）采用运算放大器法　　 电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地Σ点,电缆的屏蔽层接仪器地,这时与传感器电容相并联的为等效电缆电容Cp/(1＋A)，因而大大地减小了电缆电容的影响。 外界干扰因屏蔽层接仪器地，对芯线不起作用。 传感器的另一电极接大地，用来防止外电场的干扰。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 （6）整体屏蔽法　　 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来。 * 3．消除和减小寄生电容的影响 4．防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措施归纳为：??? 屏蔽和接地。传感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级等等。 增加原始电容量，降低容抗。 导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。 尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印制线。 采用差动式电容传感器，减小非线性误差，提高传感器灵敏度，减小寄生电容的影响和温度、湿度等误差。 * 电容式传感器可以用来测量直线位移、角位移、振动振幅，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量。 一、传统变极距式电容传感器 第四节 应用举例 图示传感器特点：结构简单、灵敏度高、响应速度快，能从微小压差。 结构： 玻璃圆盘凹面深25μm，镀金形成电容式传感器两固定极板； 膜片为可动电极，感知两侧压力。 二、容栅式传感器 主要特点：工作原理基于变面积型电容传感器。具有电容式传感器的优点，又具有多极电容的平均效应，可采用闭环反馈式等测量电路。测量精度提高（5μm），量程扩展（1m）。 应用：数显卡尺、测长机等数显量具。 容栅测量系统：栅状电容极板＋测量电路 图4-17 反射式容栅传感器结构 和安装示意图 第四节 应用举例 * （一）容栅传感器的结构形式 动栅：排列一系列尺寸相同、宽度为l0的小发射电极片1～8。 R为公共接收极。 定栅：均匀排列着一系列尺寸相同、宽度和间隙各为4l0的反射电极片M1、M2、…和屏蔽极片S。电极片间互相绝缘。 动栅和定栅的电极片相对、平行安装。当发射电极片1～8分别加以激励电压U1～U8时，通过电容耦合在反射电极片上产生电荷，再通过电容在公共接收极上产生电荷输出。 采用不同的激励电压和相应的测量电路，则可得到幅值或相位与被测位移成比例关系的调幅信号或调相信号。 * （二）工作原理及转换电路 1、开环调幅式测量原理 组成：均匀排列的定栅；一对相同尺寸的交错对插动栅对。 工作过程：安装如图，重叠面积为暗区域，随位移反向变化的差动电容器C1和C2。 测量电路：差动变压器。 特点：测量精度提高，可实现大位移测量。 * * 2、闭环调幅式测量原理 A、B——动尺的两组电极片，各由四片小电极片组成；位置a时，一组为小电极片1～4，另一组为5～8。 P——定尺上的一片电极片，与A、B间构成差动电容器CA、CB。 * 2、闭环调幅式测量原理 S1、 S2 ——方波脉冲控制开关，轮流将参考直流电压±U0和测量转换系统的直流输出电压Um分别接入两个小电极组A和B。 当方波为前半周，开关S1和S2往上导通，在小电极组A上输入+U0和Um； 当方波为后半周，开关S1和S2向下导通