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公 示 材 料 受国家环保总局委托，北京市环保局对中芯国际集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目（一期）进行建设项目竣工环境保护验收，现将有关情况公示如下： 一、项目概况： 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目（一期）位于北京经济技术开发区文昌大道18号。总占地面积240030m2，其中本次验收的超大规模集成电路芯片生产线（一期）项目工程占地136753 m2项目，建筑面积：184367.5m2；项目投资12.5亿美元，其中环保投资1亿美元，约占项目总投资的8%。 二、验收标准 1、废气 工艺废气排放执行GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中（表2）新污染源二级标准，氨执行GB14554-93《恶臭污染物排放标准》中氨的限值，PH3、AsH3和SiH4分别采用TJ36-79国家《工业企业设计卫生标准》车间空气中有害物质的最高允许浓度和荷兰排放导则中的标准。见表2-1。 表2-1 工艺废气排放标准 污染物 最高允许排放浓度 (mg/m3) 最高允许排放速率 (kg/h) 30m 40m H2SO4雾 45 8.8 15 NOx 240 4.4 7.5 氟化物 9 0.59 1.0 HCl 100 1.4 2.6 Cl2 65 0.87 2.9 非甲烷总烃 120 53 100 氨*1 -- 20 35 SiH4 5.0*3 0.05*3 PH3 0.3*2 0.01*3 AsH3 0.3*2 -- *1取自GB14554-93中氨的限值 *2执行TJ36-79国家《工业企业设计卫生标准》车间空气中有害物质的最高容许浓度。 *3荷兰排放导则 2、废水 污水排入开发区污水处理厂，最终汇入凉水河。排水水质执行《北京市水污染物排放标准(试行)》中“排入城市下水道的水污染物排放标准”中的B标准，其中AOX执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准，氨氮执行该标准中的二级标准。见表2-2。 表2-2 水污染物最高允许排放浓度标准 （单位：mg/L，除pH外） 项目 CODcr pH 油脂 SS Cu BOD5 F- AOX 氨氮 最高允许排放浓度 500 6-9 100 500 1.0 500 10 8.0 25 采用标准名称 《北京市水污染物排放标准》排入市政下水道标准中的B标准 污水综合排放标准 三级 二级 3、噪声 根据北京市噪声功能区的划分，该地区属于噪声环境功能区的3类区。厂界噪声执行《工业企业厂界噪声标准》(GB12348～90)中III类标准。见表2-3。 表2-3 工业企业厂界噪声标准(GB 12348-90) 单位:Leq(dBA) 类别 昼间 夜间 III类 65 55 注：北京地区昼间为6时至22时，夜间为22时至次日6时。 三、验收监测结果 1、废气监测结果 北京市环境保护监测中心于2005年5月10日和11日对中芯国际集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目（一期）的酸性废气、碱性废气和有机废气排气筒废气进行了现场监测。监测结果见表3-1、3-2。 表3-1 四车间Fab4 排气筒废气监测结果表 检测点位 排气 筒号 污染物 监测结果 最高允许 排放浓度(mg/m3) 最高允许 排放速率(kg/h) 排放浓度(mg/m3) 等效排放速率(kg/h) 5月10日 酸性废气洗涤塔（SES55-1） 出口 Fab4 P11 硫酸雾 9.09×10-3 0.025 45 12.4 氮氧化物 3.0×10-3 0.043 240 6.2 氯化氢 0.011 0.050 100 2.1 氯气 9.2×10-3 0.030 0.87 2.0 氟化物 9.2×10-3 0.035 9 0.83 Fab4 P12 硫酸雾 1.58×10-2 0.025 45 12.4 氮氧化物 0.027 0.043 240 6.2 氯化氢 0.025 0.050 100 2.1 氯气 0.011 0.030 0.87 2.0 氟化物 0.013 0.035 9 0.83 5月10日 酸性废气洗涤塔（SES55-1） 出口 Fab4 P15 硫酸雾 1.6×10-4 0.025 45 12.4 氮氧化物 1.3×10-2 0.043 240 6.2 氯化氢 1.4×10-2 0.050 100 2.1 氯气 1.0×10-2 0.030 0.87 2.0 氟化物 1.3×10-2 0.035 9 0.83 5月10