高精度光电编码器莫尔条纹信号质量分析方法.pdfVIP

第44 卷第1 期 红外与激光工程 2015 年1 月 Vol.44 No.1 Infrared and Laser Engineering Jan.2015 高精度光电编码器莫尔条纹信号质量分析方法 1,2 1 1,2 1 1 1 左 洋 ，龙科慧 ，刘 兵 ，周 磊 ，刘金国 ，乔 克 (1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 ； 2. 中国科学院大学，北京100049) 摘 要 针对莫尔条纹信号质量对高精度编码器细分误差的影响，提出了 于离散傅里叶变换分析 莫尔条纹信号质量的方法。该方法利用信号重构和傅里叶变换算法得到信号参数，真实地反应了莫尔 条纹信号质量，提高了细分误差测量的准确性。编码器转动时，采集相位差为仔/2 的两路精码正弦光 电信号，通过对采样信号的重构得到信号波形，利用离散傅里叶变换算法分析重构波形，求解信号的 直流分量、幅值、相位和谐波分量等各项参数。最后，根据信号参数与细分误差的关系得到光电编码 器的细分误差值，并进行了实验验证。实验结果表明，对某24 位绝对式光电轴角编码器细分误差进行 测量，细分误差的峰值为+0 .48和-0 .21。相对于传统的细分误差测量方法，此方法测量速度快，测量 精度高，适用于工作现场。 关键词 光电编码器； 莫尔条纹； 离散傅里叶变换； 细分误差 中图分类号 TP212 文献标志码 A 文章编号 1007-2276 (2015) 01-0260 -06 Method of analysis based on quality of Mori佴 fringe signals for high precision optical encoder 1,2 1 1,2 1 1 1 Zuo Yang 袁Long Kehui 袁Liu Bing 袁Zhou Lei 袁Liu Jinguo 袁Qiao Ke (1. Changchun Institute of Optics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033, China; 2. University of Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100049, China) Abstract: Aiming at the affection of Mori佴 fringe signal quality for high -precision encoder interpolation error 袁a method of analysis based on quality of mori佴 fringe signals for high