电子科技大学微固学院MEMS课件第二章解析.pdf

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2016-05-09 发布于湖北
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变换器：将一种物理量转换为另一种物理量的器件传感器：将一种物理量或化学量转换为电量的器件致动器：将电量转换为物理量或化学量的器件传感器、变换器、致动器的关系第二章典型微系统的工作原理及应用 transducer sensor actuator 声波传感器生物传感器 2.1微传感器 2.1微传感器压力传感器 •微传感器是目前应用最广泛的MEMS产品 [Madou， … 1997] . 定义：将能量从一种形式转换为另一种形式，并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能容内要主热力驱动量输出的器件。压电驱动 2.2微驱动静电驱动物理量A 物理量B … (非电量) 敏感材料 (电量) 微型夹钳 (变换型) 2.3带有微型致动微型电动机输输器的MEMS器件微型阀入出微型泵微型流体器件 (P1) 电量 (P2) P1≠P2 (量变型) （1）微型声波传感器定义：将机械能转换为电能产生声波发展历程: 应用：气体成分的检测、Sonar 主要激励原理：压电效应、磁致伸缩效应 1885:英国物理学家Releigh在研究地震波时 •表声波传感器(SAW: Surface Acoustic Waves) 发现了SAW 1885年,英国物理学家瑞利（Lord Rayleigh）根据对地震波 1949：Bell 实验室发明了 LiNbO3压电材料的研究，首次提出了