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制程排气系统研讨 2008.11.26 孙垂宾 主要内容 l 电子厂房制程排气分类 l 废气排放原则 l 制程排气处理设备、工艺及配管 常见IC厂房制程排气系统分类 l 酸性排气（SEX） 主要排气成分：HCl、H2SO4 、HF、HNO3、H3PO4、NxOy、SxOy 主要排气制程：清洗( Cleaning) 、刻蚀（ECTH）、扩散（Diffusion） l 碱性排气（AEX ） 主要排气成分: NH3、NaOH 主要排气制程：清洗( Cleaning) l 有机排气（VEX ） 主要排气主要排气成分成分:: 丙酮丙酮、、异丙醇异丙醇、、甲醇甲醇、、乙二醇乙二醇、、光光刻胶刻胶、、剥离液剥离液 主要排气制程：光刻（PHOTO ）、涂布（COATING ）、显影（develop ）、清洗( Cleaning) l 普通/热排气（GEX） 主要排气成分: 热空气 主要排气制程：光刻机（PHOTO ）、刻蚀（ECTH）、烘箱（OVEN） l 其他特殊排气 特气、有毒气体（TOXIC）：SiH4、PH4、AsH4、SiHCl3、SiCl4、H2、粉尘 主要排气进程：CVD 、外延（EPI）、注入（Implant） 废气排放原则 l 分类分别排放 酸、碱不能混排 强酸、有机不能混排 l 处理达标排放 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996） 祥 ：U:\Design\專業資料庫\法規\大陸法規\空調規範 ll 安全安全 处理设备、工艺的选择 管材的选择 酸碱排气 处理设备及工艺 l 酸、碱排气的两种主要处理工艺： 水洗(Scrubber) : 风量：低 高 浓度：低 高 投资：低 运行费用：低 广泛的应用在各种酸碱尾气处理场合 化学吸附塔化学吸附塔：： 风量：低 中 浓度：低 投资：高 运行费用：高 主要应用于中低风量、低浓度场合，如单台设备等；另适合于寒冷地区。 酸碱排气 处理设备及工艺 l 水洗处理设备 主要的两种： 卧式洗涤塔 （交叉流洗涤塔）： 工作原理及组件均类似； 占地较小，适合室内安装。 酸碱排气 处理设备及工艺 立式洗涤塔 （逆流洗涤塔）： 占地较大，适合室外安装 逆流式洗涤塔结构图 酸碱排气 处理设备及工艺 1、烟囱 （Stack ） 材质：PP、FRP 高度：不同的排放量对应不同的排放高度 具体需从 《大气污染物综合排放标准》 （GB16297-1996）计算 2、风机（Fan ） 材质：叶轮 FRP，外壳 FRP、PP 频率 制：吸气总管内的静压 3、挡水帘 （eliminator) 作用同作用同空空调调机机内的内的挡挡水水板板 4 、填料 （Packing) 现最常用的：特拉瑞德环 （Tellerette ） 材质：PP、PVC、CPVC、PVDF等 设备阻力 （整个塔）：200~600Pa 5、加药罐 （Chemical ) 酸排气：NaOH溶液 碱排气：H2SO4溶液 特拉瑞德环 （Tellerette ） 酸碱排气 处理设备及工艺 6、加药泵/ 制阀 （Pump/Control Valve ) 一般采用加药泵，如果加药罐高于洗涤塔液面，可采用电磁阀； 加药泵/ 制阀由水箱内PH计的信号 制，以 制水箱内循环水的PH值在规定范围内；