单边发红色差制绒改善报告要点分析.ppt

单边发红色差制绒改善报告 赵东旭 2014.5.11 背景 绒面改善 片间减薄量均匀性改善 下一步计划 目录 背景 单边发红片 目前PE色差主要为单边发红，通过多次抽样测量硅片厚度，确定发红边为硅片四边中最薄一边且反射率为四边最低 ；另两批阿特斯制绒的硅片在中宇镀膜，单色比例均在80%以上；说明目前绒面与PE镀膜匹配上存在问题，需改善。 最薄边 最厚边 相近边 相近边 PS:目前公司所用硅片均为此类型，这是由切片方式决定的 薄边 绒面改善 绒面分析 薄边绒面 中宇-薄边与厚边绒面对比 原料片薄边与厚边损伤层对比 厚边绒面 原料薄边 原料厚边 绒面分析 中宇-薄边与厚边绒面对比 原料片薄边与厚边损伤层对比 从图对比看，薄边损伤层要比厚边严重；绒面上，薄边绒面均匀性差而厚边则比较均匀。 从数据对比看，薄边损伤层较深；绒面方面，薄边绒面深度比厚边要深。 通过以上对比：薄边与厚边损伤层的不同，导致两边绒面均匀性和绒面深度的不同。 位置 绒面长度 绒面宽度 深度 绒面数/mm2 深宽比 中宇厚边 43.1 29 1.33 939 4.6% 中宇薄边 44.58 31 2.52 857 8.1% 位置 绒面长度 绒面宽度 深度 绒面数/mm2 深宽比 原料厚边 42.82 29.94 0.94 925 3.14% 原料薄边 45.27 31.59 1.78 832 5.63% 绒面分析 阿特斯与中宇绒面对比 从对比看，阿特斯的绒面无论薄边还是厚边均比中宇的的要大。 综合以上3组对比数据，薄边绒面深度大且不均匀以及中宇绒面整体较小是导致单边发红的主要原因。 中-厚边绒面 阿-厚边绒面 中-薄边绒面 阿-薄边绒面 位置 绒面长度 绒面宽度 深度 绒面数/mm2 深宽比 中宇厚边 43.1 29 1.33 939 4.6% 中宇薄边 44.58 31 2.52 857 8.1% 中宇厚边 41.6 29 1.463 987 5.0% 中宇薄边 46.2 31 2.44 829 7.9% 阿特斯厚边 43.87 29 1.46 921 5.0% 阿特斯薄边 48.06 32 2.39 775 7.5% 阿特斯厚边 45 30 1.49 875 5.0% 阿特斯薄边 47.97 32 2.39 788 7.5% 试验验证 通过绒面分析确定制绒对于单边发红影响的主因，后续通过改善薄边绒面以及整体绒面大小来改善单边发红问题，本次主要验证改变制绒上料方式改善薄边绒面是否有效。基于Kuttler制绒槽前后回流的方式，硅片在进入制绒槽时会有瞬间回涌现象，使硅片后进入制绒槽的边腐蚀时间要比先进入制绒槽的边要长。设想使薄边向后增加薄边腐蚀时间进而使薄边绒面增大，改善单边红。 ~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~ ~~ ~~ ~~ ~~ 制绒槽 硅片 前 试验验证 基于原料片TTV情况及制绒液回流情况，将原料片薄边按前后左右四个朝向进片制绒，对比膜色分布情况。为保证数据精确性，设计如下： 1、取1000片已确认厚薄方向的原料片按发牌式分片，4等份；（消除不同晶花腐蚀速率差异的影响） 2、试验前后分别测试五道的减薄量；（消除前后波动、及五道差的影响） 3、扩散、湿刻保持薄边方向一致； 4、PECVD试验前清理炉管防止过程中报警导致镀膜失败的情况； 5、选取稳定两舟、两管，4种制绒条件分两轮镀膜；每舟为两种制绒条件面对面镀膜，膜厚数据收集取片方式如下： 试验验证 试验数据 条件 501舟-膜厚极差 503舟-膜厚极差 极差均值 极差最大 极差最小 薄边在后 5.5 5 5.5 4.4 4.5 5 2.7 2.9 6 4.7 4.3 5.8 4.7 6 2.7 薄边在前 5.6 4.6 9.2 7.2 8.9 3.9 7.6 4.9 5.6 6.3 4.9 3.5 6.0 9.2 3.5 薄边在右 6.5 6.1 5.6 3.1 5 5.4 5.3 3.3 5.8 5.3 8 6.7 5.5 8 3.1 薄边在左 7.5 5.4 4.5 4.1 6.8 2.1 5.3 3.3 5.8 5.3 8 6.7 5.4 8 2.1 条件 统计 单色 双色 三色 降级 薄边在后 数量 126 107 6 0 比例 52.7% 44.8% 2.5% 0.0% 薄边在前 数量 31 200 5 0 比例 13.1% 84.7% 2.1% 0.0% 薄边在右 数量 101 111 11 0 比例 45.3% 49.8% 4.9% 0.0% 薄边在左 数量 66 159 6 0 比例 28.