MOCVD组成要点讲义.docx

中文关键词 关键词源供给、输运和尾气处理系统源供给系统氢化物源供给系统气体纯化器、鼓泡（器）、钢瓶、恒温（装置）、质量流量控制计MFC,压力控制器PC、（水浴）恒温槽thormal bath、充抽与测漏管道、进气、旁路（系统）、蝶形阀、溢流阀、电磁阀 过滤器、不锈钢丝网、活性炭、真空泵、气体洗涤器、加热炉、裂解炉、燃烧室、排气、尾气、清洗MO源供给系统输送管路系统三族源Run/vent输送系统五族源Run/vent输送系统Run/vent进腔体管路系统Run/vent选择开关Run/vent主管路吹扫管路系统光学探头吹扫腔体侧壁吹扫加热器吹扫喷淋头吹扫载片台周边吹扫泄露检测系统尾气处理系统湿法系统吸附系统加热系统反应室和加热系统反应腔立式喷（淋、口、孔、头、盘）、均匀、层流、石英（管）、钢（腔）、反应（室、腔、器）、装片、卸片、两路气流、分离气路、三路气流分离卧式桶式扁平式转盘式冷却系统喷淋腔壁冷却（水、气）冷却气体流道冷却尾气冷却加热器电极冷却腔体中心管冷却加热系统感应加热石墨（基座、石墨舟）、加热（射频、红外辐射、电阻）、热偶、衬托、托盘、支撑、支杆、转动机构、电磁场、温度场、温度分布、流场、气压、流速电阻加热电阻丝电阻片红外辐射加热自动控制系统温度控制自动系统、控制系统、控制装置、处理系统、气体流量、监控设备、Bypass管路、O型密封圈、（压力、压差）传感器压力控制机片座旋转控制气流控制安全防护故障报警分级处理可靠性设计 英文关键词 关键词 gas?delivery?system?源供给系统 source?gas?providing? system氢化物源供给系统bubbler、bottle、cylinder、thermal bath、Mass flow controller、MFC, Pressure controller、Charge pumping and pipeline leak detection、inlet、Bypass（system）、Run/vent Filter、Stainless steel wire mesh、Activated carbon、Vacuum pump、scrubber system、Heating furnace、Cracking furnace、pyrolyzer、combustion chamber、Exhaust、end gas、CleanMO源供给系统输送管路系统 source?pipe?system三族源Run/vent输送系统五族源Run/vent输送系统Run/vent进腔体管路系统Run/Vent?main ?pipes?sysemRun/vent选择开关Run/vent主管路吹扫管路系统 purge?gas?system光学探头吹扫腔体侧壁吹扫加热器吹扫喷淋头吹扫载片台周边吹扫泄露检测系统 ?leak?test尾气处理系统 exhaust?system?湿法系统吸附系统加热系统reactor?chamber systemreactor?chamber??垂直式Sprinkler、shower nozzle、Uniform、Laminar flow、Quartz chamber、reactor?chamber水平式cooling?system喷淋腔壁冷却Cooling、burial （水）冷却气体流道冷却尾气冷却加热器电极冷却腔体中心管冷却calefaction?system感应加热Graphite plate、heating（magnetic、radiant heating With infrared、resistance）、substrate、Support、Pillar电阻加热电阻丝电阻片红外辐射加热control?system?温度控制 Temperature controlautomatic system、Control system、operating system、Gas flow、Monitoring equipment、By