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硅料性质及处理流程 培训：刘德生 2010.3.25 主要内容 1. 硅的制备及性质 1.1 高纯硅的制备 1.2 硅的物理、化学性质 2. 硅原料分类及处理工艺流程 1.1.1 提取 SiO2 + 2C ? Si + 2CO ↑ SiO2 + SiC ? Si + SiO + CO 1.1.2 纯化 (分馏) Si + 3HCl ? SiH2Cl2 + H2 Si + 3HCl ? SiHCl3 + H2 1.2.1 硅的物理性质 1、密度：2.33 g/cm3 2、硬度值：6.5 3、晶体结构：面心立方 4、熔点: 1420 °C 1.2.2 硅的化学性质 地壳含量 25.8%，原子量 28.086 价电子排布 [3s2 3p2], 氧化价4。 常温下，只与碱、氟化氢、氟气反应，不与硫酸、盐酸、硝酸等反应。 反应方程式： Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑ Si+2F2=SiF4 3Si+4HNO3+18HF=3H2SiF6+4NO ↑+8H2O 2.1 硅原料分类 2.1.1 埚底料 2.1.2 复拉料 （常规片料和非常规片料） （纯多晶，免洗多晶，铸锭多晶） 2.2 硅原料处理流程/Silicon treatment flow 硅原料处理流程介绍 2.2.1 预清洗 1、目的:主要去除表面可见的油污、杂质。. 2、所用试剂：洗洁精，丙酮。  1、型号分五档（N型、P型、重掺、混合型、非常规） 2、探针握的手法:使用拿笔的手法 : 1、电阻率分档 （1）P型电阻率分为0.1-0.2Ω.cm,0.2-0.5Ω.cm,0.5-1.5Ω.cm,1.5-6Ω.cm,6Ω.cm,五档 （2）N型和混合型电阻率分为1-2Ω.cm,2-4Ω.cm,4-8Ω.cm,8Ω.cm四档 （3）P型电阻率0.1Ω.cm和N型、混合型电阻率 1Ω.cm列为重掺 2、使用的仪器及握探针的手法 1、穿好工作服,口罩，手套，平光眼镜，防止敲伤。 2、去石英时尽量避免把原料敲碎。 1、穿好工作服，防酸手套，平光眼镜等防护用具。 2、把原料上面带有的杂质、石墨等磨去。 1、 穿好防护用品 2、 把硅料倒入浸泡槽 3、 把酸倒入浸泡槽 4、 用胶带密封浸泡槽 5、 收集浸泡槽内的酸 6、 用水清洗硅料 1穿好防护用品 2、 配置混合酸 3、 酸洗硅料 4一级冲洗硅料 5 超声波清洗硅料 6、二级冲洗硅料 1、把片料倒入碱洗桶 2、 配碱洗液 3、 碱液反应 沸腾 4、 一级清洗槽清洗 5 、盐酸浸泡 6、 纯水浸泡 7、 传递给烘干 1、 从传递窗接过原料 2、 纯水浸泡 3、 使用电导率测试 1、把原料倒在挑选台上 2.、原料挑选 3、 称 重 4、 塑 封 流程讲解完毕！ 谢谢观看！！ Thanks for listening! * CONFIDENTIAL * 硅的晶体结构 Crystal structure of the silicon （进口埚底料和自产埚底料） （进口复拉料，自产边角料，自产头尾料） 2.1.3 片料 2.1.2 多晶料 预清洗 型号分选 电阻率分选 浸泡 酸洗 碱洗 烘干 包装 打磨 敲石英 硅原料 袋装硅料 2.2.2 型号分选 （拿笔的手法） （型号分选仪） 2.2.3 电阻率分选 （拿笔的手法） （电阻率仪） 2.2.4 敲石英 （ 敲石英） （