传感器的加工工艺技术报告.pptVIP

下载本文档

20
0
约1.12千字
约 20页
2016-05-25 发布于湖北
举报
版权申诉

传感器的加工工艺技术报告.ppt

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第2章传感器的理论与技术基础 ——传感器的理论与物质基础 2.3 传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 1．弹性体的加工和处理 2．应变计的粘贴与固化 3．组桥、布线与性能检查 4．传感器的性能补偿与老化 5．防潮密封工艺 6．性能检测和标定工艺 2.3.1结构型传感器的加工工艺 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.1微传感器与微机电系统 2.3.2.1微传感器与微机电系统 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.2 MEMS所用材料 1．单晶硅与多晶硅 2.3.2微机械加工工艺 2．氧化硅与氮化硅 3．金属材料 4．光刻胶 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.3传统超精密与特种加工技术超精密机械加工微钻孔加工微铣削加工微细磨削（超精密磨削）微细电火花加工 2.3.2.3传统超精密与特种加工技术 2.3.2微机械加工工艺高能束微机械加工技术激光束加工电子束加工 2.3.2微机械加工工艺离子束加工 2.3.2微机械加工工艺 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺薄膜成形氧化 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺金属化 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺化学气相淀积 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺外延旋涂法厚膜工艺 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺掺杂技术扩散杂质离子注入 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺光刻技术 2.3.2.4微机电系统常用的集成电路工艺掩模制作（掩模原图绘制、掩模母板制作、工作掩模制作）光刻胶的涂布前烘曝光显影坚膜蚀刻（湿法蚀刻、干法蚀刻）去胶（湿法去胶、干法去胶） * 传感器的基础效应（不具体讲述）传感器的功能材料传感器的加工工艺图 2?8 应用不同的加工方法所能得到的加工精度图 2?9悬臂梁式称重传感器图 2?10 电阻应变式传感器的防护密封结构示意图图 2?11 MEMS所涉及到的技术领域图 2?12 MEMS的应用图 2?13单晶硅的硅胞及常用晶片图 2?14 光刻胶用于平面光刻图 2?15 线电极电火花磨削法原理示意图 2?16 采用线电极电火花磨削加工的微结构图 2?17 激光束加工示意图 2?18 热型电子束加工示意图 2?19 非热型电子束加工示意图 2?20 湿氧氧化法示意图 2?21 真空蒸镀法示意图 2?22 溅射法示意图 2?23 常压化学气相工艺装置的示意图 2?24 等离子化学气相工艺装置的示意图 2?25厚膜压力传感器工艺流程示意图图 2?26 离子注入机示意图图 2?27 光刻工艺流程 *