频率可调器件的研究进展分析报告.pptVIP

实验室项目 实物图 （由于为实验室项目，出于保密考虑，上交的PPT中电路实物图已删除） 五、总结和展望 总结和展望 随着微波技术与通信要求的不断发展变化， 传统滤波器由于其自身的不足很难满足现代通讯系统的要求，其他各种新技术和新材料也开始应用到各种滤波器设计当中，如光子晶体结构的研究、MEMS先进制造技术的成熟以及超宽带滤波器的新的设计方法。 微波滤波器朝着高频化、集成化、宽带化发展是一种必然趋势。对各种滤波器改进结构 ，扩大它的工作频率与相对带宽、降低滤波器制作成本是设计人员进一步的课题 。 MEMS滤波器 基于MEMS工艺的微波MEMS滤波器具有低插损，低功耗，积小及重量轻等优点，它的使用将大幅减小射频系统产品的体积，降低产品重量。 微波MEMS滤波器可分为 可调节MEMS滤波器 非可调节MEMS滤波器 可调滤波器在电子对抗、调频通信、动态频率分配技术等方面的广泛应用 可调MEMS滤波器 基于 RF-MEMS 技术的可调滤波器的工作原理同基于变二极管的可调滤波器一样，也是采用在谐振器终端加载可变电容（或在谐振器之间加载可变电容）的方式，通过改变电容容值的大小从而实现谐振器的谐振频率可调，既而达到滤波器中心频率可调的目的。 RF-MEMS 可调滤波器的谐振器部分也可以选择传统的微带结构，并且 MEMS 加工工艺中的电镀工艺可以用来制作微带线，这就可以在一个加工版图上制作出微带部分和 MEMS 开关网络部分，从而减少了加工步骤也降低了加工成本。 可调MEMS滤波器 RF-MEMS 开关 可调MEMS滤波器 可调MEMS滤波器 连续可调滤波器 一般采用 MEMS 可变电容作为调谐元件，由于 MEMS 可变电容的容值大小是连续可调的，所以这种滤波器的中心频率也是连续可调的，而可调的范围受可变电容的最大电容值和最小电容值的比值限制，调频的范围通常只有 5%-15%，无法实现大范围的调频。此外，连续可调型滤波器对 MEMS 开关的直流偏置电压的大小非常敏感，偏置电压的微小变化都可能导致滤波器中心频率的偏移，这就导致连续可调滤波器非常容易受到干扰。 可调MEMS滤波器 数字可调滤波器 通常采用 MEMS 开关和 MAM 电容组合而成的开关网络作为调谐元件，通过 MEMS 开关来改变开关电容网络的电容值，从而改变滤波器的中心频率。MEMS 开关的数量决定了整个开关电容网络的可变容值数量，故而数字可调滤波器的中心频率是有限个离散的频率点。 这类滤波器的优点是： 1. 中心频率的可调范围比较大 2. 抗干扰的能力较强。 可调节MEMS滤波器 RF-MEMS 开关 开关下拉时间和释放时间：驱动电压，有效弹性系数，梁的品质因数 开关的电磁性能：感性，容性，串联电阻 开关线性度分析：MEMS 梁的微小位移都会引起 S21相位参数的变化，MEMS 梁的振动会对信号进行相位调制，从而产生了新的频率分量， 这就是 MEMS 开关存在非线性问题的原因。 可调节MEMS滤波器 RF-MEMS 开关 与电子开关相比，RF-MEMS开关虽然开关速度较慢，但功耗极小，带宽很宽，隔离度高，插入损耗较小。 影响 MEMS可调滤波器发展的关键问题 首先，就数字可调型滤波器而言，它的可调状态少，虽然可以通过增加 MEMS 开关数量来实现更多的可调状态，但这样也会牺牲它其他方面的一些性能，其次，RF-MEMS 电调滤波器的调谐速度为微秒量级，这对它的应用也有一定限制。此外，MEMS 可调滤波器还需要 20-50V 的直流电压驱动，所以必须外接升压电路才能工作，这就变相的增加了可调滤波器的体积和制作成本。 1. 设计和制作成本比较高 2. 可靠性问题 可靠性是制约 ,MEMS元器件广泛应用的一个重要问题，尤其是对MEMS开关而言。可靠性问题主要涉及两方面: 对环境的适应性问题，可动结构的疲劳“磨损及失效机理!在环境适应性问题方面，主要体现为对热，振动，冲击，辐射等方面的适应能力。 影响 MEMS可调滤波器发展的关键问题 由于 MEMS器件易受周围环境影响，通过封装可以提供电路正常工作的一个内部环境，实现对电路的保护，因此对 MEMS器件进行封装是其广泛应用的前提。由于 , MEMS器件具有多样性和复杂性，研究标准规范的封装形式非常必要! 3. 封装问题 影响 MEMS可调滤波器发展的关键问题 4. 全面仿真设计技术 与传统的微波设计相比，MEMS由于涉及多物理场参数，对其进行全面仿真设计是必需的。MEMS的仿真设计呈现如下特点: （1）尺度小的特点