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雷天民 雷天民 半导体物理Semiconductor Physics 雷天民 leitianmin@163.com * 例1、锑化铟介电常数ε=17,电子有效质量mn=0.014m, 试计算: 1)浅施主的电离能和基态轨道半径; 2)相邻施主上的基态电子轨道开始交叠时的施主浓度。当超过这个浓度时,将出现什么效应? (已知氢的基态电离能E0=13.6eV,玻尔半径a0=0.53?) [解] 1)利用类氢模型,基态电离能和基态轨道半径分别为 (?) * 2)设想施主杂质均匀地排列成一个立方格子,那么Nd-1/3 即表示相邻杂质小心的距离。所以 当施主浓度越过这个数值时,相邻施主上的基态电子轨道将发生交叠,这时杂质能级将扩展成一个杂质能带。即束缚于杂质上的电子,可以在不同杂质原子之间转移,杂质带表现出一定的导电性。 与晶体能带中的电子相比,杂质带中的电子运动要困难得多。只是在低温下,当能带中的载流子对电导的贡献变得很小时,杂质带的导电性才可以表现出来。 * * 雷天民 * 例3:如果 n 型半导体导带极值在[110]轴上及相应对称方向上,回旋共振实验结果应如何? [解] 由解析几何定理得,B 与 k 的夹角余弦cosθ为: 思路:确定可取的cosθ,即可确定吸收蜂个数。 据立方对称性,有12个方向上的旋转椭球面 * 雷天民 * 对不同方向的旋转椭球面取不同的一组(k1,k2,k3)。 (1)若 B 沿[111]方向则cosθ可以取两组数: 可知当 B 沿[111]方向时应有两个共振吸收峰; 可知当 B 沿[110]方向时应有三个共振吸收峰; (4)若 B 沿任意方向,则cosθ可取六 个不同值,所以应有六个共振吸收峰。 (2)若 B 沿[110]方向则cosθ可以取三组数: (3)若 B 沿[100]方向则cosθ可以取两组数: * 雷天民 * 例4、若锗中杂质电离能△ED=0.01eV,施主杂质浓度分别为ND=1014cm-3及1017cm-3,计算:(1)99%电离;(2)90%电离;(3)50%电离时温度各为多少? [解] 思路:区分电离程度,选择适用条件。 对于强电离,未电离杂质占的百分比为: * 雷天民 * ND=1014cm-3,99%电离,即D-=1-99%=0.01 若ND=1017cm-3,99%电离,即D-=1-99%=0.01 * 雷天民 * (2)ND=1014cm-3,90%电离,即D-=1-90%=0.1 若ND=1017cm-3,90%电离,D-=0.1 * 雷天民 * (3)50%电离不属于强电离,不能再用上式 即 取对数后得 整理得 * 雷天民 * 若ND=1014cm-3,有 若ND=1017cm-3,有 * 雷天民 * 上述对数方程可用图解法或迭代法解出! 图解法:分别令 作y1和y2曲线,并由两条曲线相交求得对应温度T。 * 雷天民 * 迭代法: 以ND=1014cm-3,99%电离为例,有 Tn lnTn Tn+1 300 5.70 18.6 18.6 2.92 55.7 55.7 4.02 31.1 31.1 3.44 40.6 40.6 3.70 35.7 35.7 3.58 37.8 37.8 3.63 36.9 36.9 3.61 37.1 37.1 3.61 37.1 给 T 一个初始值,代入方程右边,可得出一个新的T值。再将所得的T 值代回方程右边进行计算,如此反复循环。直至代进去的T 值与计算出来的 T 值相等(或非常接近)为止。这时所得的 T 值即为所求。 * 雷天民 * 例5、设二维正方格子的晶格常数为a,若电子能量可表示为 试求状态密度。 [解] 能量为 E 的等能面方程式可以写成: 显然,是一个半径为 R 的圆,其面积为 * 雷天民 * 乘以 k 空间状态密度2S(晶体的面积)即可得圆内所包含的状态数为: 取微分,有 单位能量间隔内的状态数,即状态密度为 * 雷天民 * 例6、有一硅样品,施主浓度为ND=2×1014 cm-3,受主浓度为NA=1014 cm-3,已知施主电离能?ED为0.05eV,试求99%的施主杂质电离时的温度。 [解] 令ND+表示电离施主的浓度,则电中性方程为: 略去价带空穴的贡献,则得: (受主杂质全部电离) 式中 对硅材料 由题意,有 * 雷天民 * 当有99%的施主电离时,说明有1%的施主有电子占据,即f (ED)=0.01。 * 雷天民 * 例7、在一掺硼的非简并p型硅中,含有一定浓度的铟,室温下测出空穴浓度p0=1.1×1016/cm3。已知掺硼浓度NA1=1016/cm3,其电离能?EA1 = EA1-Ev = 0.045eV,
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