第六激光其它测量技术精要.ppt

三、扫描镜电流计测径 电流计作用：镜偏转由驱动电流控制，驱动电流操纵扫描镜电流计，电流计的基本扫描作用是把恒定的角速度转换成扫描平面内的恒定线速度。 精度：适合于各种光导纤维或金属细丝的线径测量，精度1%以内 扫描镜运动形式：以恒定角速度转动，当转过一个微小角度（θ≤3?）后迅速返回到它的起始位置。 信号特点：光点扫过纤维时得到相应的脉冲信号宽度与线径成近似线性关系 四、位相调制扫描测量技术 影响激光扫描测量精度的主要因素： 工件边缘的衍射现象 衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数时，必然引入 误差，使前述的光点扫描测量精度限制在±0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工件，通过 测量位相，而不是测时间来获得被测件的尺寸，测量精度可 达±1 μm，适合于各种高温、高压下做非接触高精度现场 测量。 设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光强I1,I2.I3，有如下关系: 若Pockels调制器的振荡频率为ω，由图6-18可知，光束①+③是(I1+I3) (1 + sin ω t)。而光束②的方程是I2(1-sin ω t)。对任意时刻，调制扫描光束的表达式为 1当光束③与工件相遇时为a区，扫描光束扫过工件后为a区 2当工件边缘开始挡住光束③或①时，这时为b区和b区 3当工件边缘开始挡住光束②到全部挡住光束②时 2和3 的信号正好相差π 工件尺寸由相位突变点来决定，可获得很高的测量精度 常用的测距技术: §6.3 激光测距技术 雷达测距 超声测距 红外测距 激光测距 雷达测距:利用电磁波探测目标的电子设备；发射电磁波对目标进行照射并接收其回波，由此获得目标至电磁波发射点的距离、距离变化率（径向速度）、方位、高度等信息。测量距离实际是测量发射脉冲与回波脉冲之间的时间差；测量目标方位是利用天线的尖锐方位波束测量；测量高度靠窄的仰角波束测量；根据仰角和距离就能计算出目标高度；测量速度是雷达根据自身和目标之间有相对运动产生的频率多普勒效应原理。 远距离(几千米)测量的技术: 超声测距:原理和雷达类似，具有频率高、波长短、绕射现象小，特别是方向性好、能够定向传播等特点。 激光测距：指的是无导轨测距 短程: 合成波长 半导体激光调频测距 激光相位测距 脉冲激光测距 一、激光相位测距 (一)激光相位测距原理 光从A点传播到B点的相移可表示为 光从A点传播到B点所用时间为t， 则A、B两点之间的距离 通过对光的强度进行调制来实现的 为方便测量出相位变化，一般采用反射式 实际上： 1. cos为2π周期的函数， 不能直接测出m的变化量 2. 一般的检相电路,只能检出0-2π之间的相位变化 则 ——调制光波的波长是相位测距的一把“光尺” 相位测量技术只能测量出不足2 π的相位尾数△φ ，即只能确定余数△m=△φ/2 π，而不能确定相位的整周期数m。当距离小于Ls时，即m=0时，可确定距离 如果被测距离较长，可降低调制频率，满足Ls L，但由于测相系统存在的测相误差，增大Ls会使测距误差增大。 为能实现长距高精度测量，可同时使用Ls不同的几把光尺：最短的尺用于保证必要的测距精度，最长的尺用于保证测距仪的量程。 目前，采用的测距技术主要有直接测尺频率和间接测尺频率 （二）激光相位测距技术 （1）直接测尺频率 由测尺量度Ls可得光尺的调制频率 ——测尺长度直接由测尺频率决定 直接测尺频率一般应用于短程测距，如GaAs半导体激光短程测距仪 例：直接测距仪测程为100km，要求精度0.01m，若相位测量系统的精度为1%，则需三把光尺： （2）间接测尺频率(合成波长) 式中： 基本原理:即通过测量fs1和fs2频率的相位尾数并取其差值来间接测定相应的差频频率的相位尾数。通常把fs1和fs2 称为间接测尺频率，而把差频频率称为相当测尺频率。 （三）相位测量技术 主控振荡器1信号为 发射后经2L距离返回接收机，接收到的信号 振荡器2信号为 将以上信号进行混频，在混频器输出端分别得到差频参考信号和测距信号 采用差频测相技术 差频后得到的低频信号进行相位比较，可采用平衡法测相，也可采用自动数字测相法。 平衡法测相结构简单、性能可靠、价格低，但精度较低，常会有15~20或更大的测相误差。此外，有机械磨损，测相速度低，并难以实现信息处理。 自动数字测相法测相速度高，测相过程自动化，便于实现信息处理，且测相精度高，可到2~4。 用相位检测电路测出这两个混频信号的相位差，通常选取测相的低频频率为几千赫兹到几十千赫兹。 光源：GaAs系列红外激光二极管 调制频率：f1=15MHz，f2=150kHz 基准信号频率：fI1=14.006MHz，fI2=146kHz 优点：既能保证大的测量范围，又能保证较高的绝对测