真空技术基础讲义.ppt

第一章 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.2 稀薄气体的基本性质 1.3 真空的获得 1.4 真空的测量 1.1真空的基本知识 1.1.1真空的定义及单位 真空的单位 气压单位——Torr，mmHg，pa，atm，bar, mbar 1958年，Torr（托）代替mmHg，二者基本相等。 1971年，国际计量会议确定Pa（帕斯卡）为国际单位。 1 Pa＝1 N/m2=7.5×10-3 Torr, 1 Torr=133.32 Pa 1 atm＝760 Torr 1 bar=105 Pa。 在标准文献上，Pa真空气压的主要单位。但工业上仍然有时延用其它单位。 1.1.2真空区域的划分 镀膜工艺采用真空的主要优点 超高真空的应用 1.1.3 气体与蒸汽 饱和蒸汽压 1.2 稀薄气体的性质 真空下，气体呈稀薄状态。稀薄气体最接近理想气体，可以采用热力学方程进行描述。 1.2.1气体分子的速度分布 1.2.2 平均自由程 1.2.3碰撞次数与余弦散射律 单位时间内，在单位面积的容器壁上发生碰撞的气体分子数称为入射频率。由赫兹-克努曾公式求出： 作业： 试举出工业上利用真空技术的5个例子。 试从荧光灯的发光原理出发，