02213精密加工与特种加工考点复习整理教案分析.docVIP

领会：记忆规定的有关知识点的主要内容，并能够领会和理解规定的有关知识点的内涵和外延，熟悉其内容要点和它们之间的区别和联系，作出正确的解释、说明和阐述。20% 掌握：掌握有关的知识点，正确理解和记忆相关内容的原理、方法和步骤。40% 熟练掌握：必须掌握的核心内容和重要知识点。40% 第九章 电子束和离子束加工 一、领会 电子束的基本原理 电子束的加工是在真空调件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度（速度可达1.6*105km/s）冲击到工件表面极小的面积上，在极短的时间内，其能量的大部分转化为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料局部熔化和气化，而实现加工的目的，称为电子束热加工； 另一种利用电子束的非热效应，功率密度较小的电子束流和电子胶相互作用，电能转换为化学能，产生辐射化学或物理效应，使电子胶的分子链被切断或重新组合形成分子量的变化以实现电子束曝光，可实现表面微槽或其他几何形状的刻蚀加工。 工艺特点 由于电子束能够极其微细地聚焦，甚至能聚焦到0.1μm，所以加工面积很小，是一种精密微细的加工方法 电子束能量密度高，在极微小束斑上能达到106~109W/cm2，使照射部分的温度超过材料的熔化和气化温度，去除材料主要靠瞬时蒸发，是一种非接触式加工。工件不受机械力作用，不产生宏观应力和变形，可加工脆性、韧性、导体、半导体、非导体材料 由于电子束