真空技术基础资料.pptVIP

* 电离计的工作原理是热阴极A发射电子，经过加速极加速，大部分电子飞向收集极，在B-C之间的拒斥场作用下，电子运动速度降低，当速度减到零时，电子又重新飞向B极，在电子飞向B-C空间时，同样也受到拒斥场的作用，在速度减为零时，电子返转飞向C极，电子在B-C空间的反复运动，将与气体分子不断发生碰撞，使气体分子获得能量而产生电离，电子最终被加速极收集，而电离产生的正离子则被收集极接受并形成离子流I+。 电离真空计 种类 测量范围 特点 注意 电容真空计 10-3～103Pa 灵敏度高、气体的介电常数不变、压力读数完全不受气体成分影响、反应速度快 使用前一般需要预热数小时。 必须在高于环境温度的恒温条件下使用。 皮拉尼 (Pirani) 0.1Pa~1atm 整个线性误差允许范围是正负百分之３０，其中１０００Ｐa------1Pa这一段线性最好，也就是从中真空段到低真空段部分． 因各种气体的比热及其撞击灯丝时带走的热量不尽相同，所以需要对测量不同的气体进行校正，否则误差甚大。 热偶真空计 1~300Pa 精度不高，但是电路简单,价格低廉。 电离真空计 Ion gauge 10-10-10-13Torr 应用于高真空至超高真空领域,定量性能优异。通常与热偶规同时使用 比较： * 小型化：是电子技术发展的产物,它又是一体化和集成化的基础 一体化：可以提高测量准确度 集