洁净室的ESD问题.docVIP

洁净室的ESD问题（1） 自从洁净室的静电放电（ESD）问题被提出后，微电子产品生产行业和生物医药制造行业，ESD标准和控制受到广泛的关注。 背景 洁净室是一个超级洁净的环境，它不但要控制通风、过滤、温度、湿度、气压以及离子化等，还要同时对环境内的材料和其他参数进行控制。洁净室的洁净度决定于空气中的悬浮微粒数量，微粒的首要计量单位是微米，即10-6米，大致相当于0.000039英寸。 洁净室级别划分最为通行使用的方法来自ISO14644标准。该标准以每立方米空气中0.1微米的微粒来划分洁净室级别，它取代了过去的美国国家标准209-1992（详见表1），而后者是以每立方英尺空气中0.5微米的微粒数来划分洁净级别的。按照这两个标准规定，209标准中的100级洁净室中每立方英尺空气中大于等于的0.5微粒数不能超过100个，此级别相当于ISO14644标准中的5级洁净室。后者的含义是每立方米空气中大于等于0.5微米的微粒数不超过3520个。 控制静电荷产生在洁净室是非常必要的。静电可能影响生产，也可能使自动化设备受到电磁干扰而失灵，静电产生的静电引力（ESA）还会减少表面的粒子粘附数量。静电荷与产品和工具表面污染密切相关，这一点让ESA越来越受到重视。例如，一个4英寸的晶片带1000V的静电后，对一个直径1微米的粒子的静电引力强度高达830000磅力/平方英寸。可以看出，带电体的静电引力要比重力、气流力和粘着力相比要高得多。 广泛使用的绝缘材料，如玻璃、特氟纶（聚四氟乙烯）和高分子聚合物会产生高电位的静电。解决此问题首先考虑工作站接地，如使用不锈钢工作台台面取代使用静电耗散材料的工作台面。但从安全的角度和静电敏感器件的防护角度看，这样做是有害的。 洁净室的划分见表2。美国法律规定，209E标准可以为国际新的标准所取代，因此它将逐步为ISO14644所淘汰。 ISO8级 ISO8级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于3,520,000个，相当于Fed Std. 209E的100000级。 10000级（ISO8级）对于抗静电材料中铵基抗静电剂和炭粉的使用没有特别的限制。真空吸塑容器、普通服装、足跟接地式鞋是可以经常看见在此级别的洁净室出现。100000级洁净室算不上严格控制的洁净环境，防尘面罩和手套没有配备的要求。进入ISO8级洁净室的物品没有进行洁净和袋装处理的要求。 ISO 7级 (Fed Std. 10,000级) ISO7级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于352,000个，相当于Fed Std. 209E的10000级。此级别的洁净室不要求佩戴口罩，但要求穿着抗静电的净化服、靴和头套，并佩戴橡胶手套，允许使用抗静电产品和混炭粉材料。Extensive use of ionization is concentrated in specific areas.特别区域需要使用离子风机应当予以集中。车间内足跟接地带和靴可以接受，同样耦合洁净室用品也可以接受。抗静电聚乙烯泡沫有时也在抗静电周转容器中一同使用。 ISO6级 (Fed Std. 1,000级) ISO6级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于35,200个，相当于Fed Std. 209E的1,000级。 此级别的洁净室必须身着带有防静电靴的洁净服，防静电靴有接地结构或通过足跟、辅助接地带实现接地。车间需要时可以使用静电耗散材料的套服。除非经过粒子计数器、除气和化学兼容性等系列测试，填炭的材料的物品不可以在此级别的洁净室中使用。进入此级别的洁净室的物品必须先在同级别的洁净室中进行清洗，并使用双层包装。必须配戴手套、口罩。服装使用一次，必须经过清洗才能再次进入ISO 6级洁净室。新的或经过清洗后的服装在进入更衣室前，必须用袋子封装。经过测试不会产生污染的抗静电用品方能够使用。可以使用离子静电消除器减少粒子吸附，和减少ESD损伤。 ISO 5 级(Fed Std. 100级) ISO5级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于3,520个，相当于Fed Std. 209E的100级。 ISO 5级洁净室中，建议使用广泛使用离子静电消除器消除静电；洁净室中人员须穿戴无尘服，无尘服覆盖其身体、头部、面部、手和眼睛。在工作站和生产场地，所有添置的离子设备能够被观察到。在洁净室内尽可能不使用可能产生污染的混炭物质和含有铵基的抗静电剂。由于具有不依赖吸湿和非极性溶剂中清洗不丧失防静电特性的优点，固有导电性的聚合物在洁净室中广泛使用。物品必须先进行清洗，并使用双层包装，通过风淋室进入ISO 5级洁净室。手套覆盖手臂，无裸露皮肤。使用氨基抗静电剂的材料中的氨基物可能污染器件表面，除非不含有此类抗静电剂，否则限制使用乙烯基的抗静电台垫。不