半导体工业材料.ppt

半导体工艺 主讲 : 徐芝美 E_Mail: zmkmxz@163.com 电话 序 ☆ 为什么要学习半导体工艺？ ☆ 半导体工艺的核心是什么? □ 电子工业的高速发展依赖于半导体工业的快速提高，而半导体工业的核心是制造集成电路。 有源器件你可以理解成需要电源供电才能正常工作的器件。电阻电容电感都是无源器件，它们在电路里面工作不需要额外的电源供电运算放大器是有源器件，它工作的时候需要一定的电源给它单独地供电。有源滤波是指滤波器需要额外的电源供电，无缘滤波就是没有，很简单。无缘滤波通常的电容滤波、阻容滤波、π型滤波之类的都是有源滤波一般要用上运算放大器，巴特沃斯滤波器就是一个典型 第1章 半导体工业 ☆ 集成电路的发展历史 ☆ 半导体工业的未来发展趋势 ☆ IC的制造过程 1.1 一个工业的诞生 ◇1905德·福雷斯特（lee Deforest）年发明真空三极管，标志世界从此进入电子时代。 电子管的发明与爱迪生有关 ! 真空管的结构 世界上第一台电子多用途计算机:埃尼阿克（ENIAC，Electronic Numerical Integrator And Computer，电子数字积分计算机） 1946年2月14日ENIAC在美国宾夕法尼亚大学宣告诞生。 承担开发任务的“莫尔小组”由四位科学家和工程师埃克特、莫克利、戈尔斯坦、博克斯组成，总工程师埃克特在当时年仅24岁。 ENIAC和现代的计算机大相径庭。占地面积约170平方米，30个操作台… 真空管 两个重要电子功能：开关和放大 缺点： 体积大 真空泄漏 易碎 较多的电能 元件老化很快 1.2 固态（无真空）时代 1947年12月23日第一个晶体管诞生。 点接触型的锗晶体管 20世纪上半叶，广泛流行的矿石收音机就采用矿石这种半导体材料进行检波。 由于电子管处理高频信号的效果不理想，人们就设法改进矿石收音机中所用的矿石触须式检波器。在这种检波器里，有一根与矿石（半导体）表面相接触的金属丝（像头发一样细且能形成检波接点），它既能让信号电流沿一个方向流动，又能阻止信号电流朝相反方向流动。 在第二次世界大战爆发前夕，贝尔实验室在寻找比早期使用的方铅矿晶体性能更好的检波材料时，发现掺有某种极微量杂质的锗晶体的性能不仅优于矿石晶体，而且在某些方面比电子管整流器还要好。 在第二次世界大战期间，不少实验室在有关硅和锗材料的制造和理论研究方面，也取得了不少成绩，这就为晶体管的发明奠定了基础。 为了克服电子管的局限性，第二次世界大战结束后，贝尔实验室加紧了对固体电子器件的基础研究。肖克莱等人决定集中研究硅、锗等半导体材料，探讨用半导体材料制作放大器件的可能性。 在锗片的底面接上电极，在另一面插上细针并通上电流，然后让另一根细针尽量靠近它，并通上微弱的电流，这样就会使原来的电流产生很大的变化。微弱电流少量的变化，会对另外的电流产生很大的影响，这就是“放大”作用。 巴丁和布拉顿最初制成的固体器件的放大倍数为50左右。不久之后，他们利用两个靠得很近(相距0.05毫米)的触须接点，来代替金箔接点，制造了“点接触型晶体管”。1947年12月，这个世界上最早的实用半导体器件终于问世了，在首次试验时，它能把音频信号放大100倍，它的外形比火柴棍短，但要粗一些。 在为这种器件命名时，布拉顿想到它的电阻变换特性，即它是靠一种从“低电阻输入”到“高电阻输出”的转移电流来工作的，于是取名为trans-resister(转换电阻)，后来缩写为transistor，中文译名就是晶体管。 ◇点接触型晶体管不足之处: 制造工艺复杂，可靠性低、噪声大、在功率大时难于控制、适用范围窄。 ◇肖克莱提出了用一种“整流结”来代替金属半导体接点的大胆设想。 ◇ 1950年，第一只“PN结”型晶体管”问世，性能与肖克莱原来设想完全一致。今天的晶体管，大部分仍是这种PN结型晶体管。 ◇ 1956年，肖克利、巴丁、布拉顿三人，因发明晶体管同时荣获诺贝尔物理学奖。 晶体管的问世，是20世纪的一项重大发明，是微电子革命的先声。晶体管出现后，人们就能用一个小巧的、消耗功率低的电子器件，来代替体积大、功率消耗大的电子管了。晶体管的发明又为后来集成电路的降生吹响了号角 。 现今所普遍应用的形式是经Robert Noyce，然后最终在Fairchild Camera完成的。如图1.7所示。 Noyce IC 背景 早些时候Fairch