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制备新技术简介 1.原位复合技术 2.自蔓延复合技术 3.梯度复合技术 4.分子自组装技术 3.梯度复合技术(FGM)Functional Gradient Materials 3.1 研究背景 上世纪80年代中期美国研制新一代航天飞机的需要: 最大难点是研制出机体和推进系统所使用的超耐热、抗氧化材料。航天飞机在大气层以超音速飞行较长时间,空气的摩擦作用使机体温度接近2000K;同时发动机的燃烧内壁需液氢燃料进行强制冷却,需要研制出一种新材料满足要求。这种材料一侧能承受2000K以上的高温氧化环境负荷,另一侧有足够的强度并能承受极低温液氢燃料的冷却,同时材料整体还需能承受两侧近1000K温差所产生的巨大热应力。 FGM的概念最早始于1987 年日本科学技术厅的一项“关于开发缓和热应力的功能梯度材料的基础技术研究”计划。由日本材料学家新野正之(MasyuhiNINO) 、平井敏雄( ToshioHIRA) 和渡边龙三(RyuzoWATANBE)等提出。 FGM的定义:选用两种不同性能的材料,采用先进的材料复合技术,使中间成分的组成和结构连续呈梯度变化,内部不存在明显的界面,从而使材料的性质和功能沿厚度方向也呈梯度变化的一种新型复合材料。 3.2 梯度材料的研究内容 梯度材料的研究内容有三个: 1.梯度材料的设计 2.梯度材料的制备与结构控制 3.梯度材料特性评价 1.梯度材料的设计 包括两个方面,一是构成梯度材料的物系设计,二是热应力缓和结构设计。 物系设计主要是考虑所设计的性质要与目标环境(温度、气氛、强度)相适应;此外还需充分注意材料间的物理与化学相容性,如热膨胀率不能相差太大,两相润湿性均较好,材料制备条件的同一性(两相的烧结特性、同时致密化条件)。 热应力缓和结构设计是在选定物系的前提下梯度材料的热应力最为适宜。一是考虑材料在制备过程中的残余应力,二是考虑材料在使用条件下(温度梯度、热冲击)的响应热应力。 梯度材料的可设计性很强,要得到正确的设计结果必须经过多次设计与优化的过程。 2. 梯度材料的制备与结构控制 这是梯度材料研究三要素的核心。制备方法很多,按照原料的状态(气、液、固),可分为15种方法。但是最常用的有化学气相沉积法(CVD)、物理气相沉积法(PVD)、颗粒排列法、薄膜叠层法、等离子熔射法、电解法和自蔓延加压合成法等。 3.梯度材料特性评价 不同类型的梯度材料需要评价不同的特性,如热应力缓和型梯度材料主要评价它的隔热性和耐循环热冲击性能;热电变换型梯度材料主要评价其综合热电变换效率。 由于梯度材料不同于传统的均质复合材料,其评价方法不能沿用传统方法。其特性评价还在发展中。 3.3 梯度材料的制备方法 1.化学气相沉积技术 2.物理气相沉积技术 3.颗粒排列技术 4.自蔓延快速加压复合技术 5.电解析出复合技术 6.等离子熔射复合技术 3.3.1化学气相沉积技术 1.化学气相沉积技术的特点 (1)可在远低于物质熔点温度下合成材料,得到高纯度、致密的产物。 (2)可通过调整原料气体的流量、温度来控制材料组分、结构状态。 (3)与物理气相沉积相比,还有不需粘结剂、助燃剂、成膜速度快的特点。 (4)所以此法最早用来金属材料进行表面处理。 2. CVD装置与梯度材料的制备 与一般的CVD装置相同,主要由原料导入系统、反应腔体、排气系统、废气处理和加热系统、测温和控制系统构成。CVD装置与一般的CVD装置相同,主要由原料导入系统、反应腔体、排气系统、废气处理和加热系统、测温和控制系统构成。 (1)原料导入系统的核心是调整原料气体与载体气体的流量和它们的混合比。 (2)反应腔体作用是通过加热基板,使反应气体在基板上形成反应沉积,形成目的产物。 合成热应力缓和型SiC/C系梯度材料的CVD装置图 原料系统为SiCl4-CH4-H2,将液体SiCl4作为硅源置于20℃恒温容器5中,通过H2载气将SiCl4蒸气从下方带入反应炉8内。采用高温诱导方式使石墨发热体温度迅速上升,置于发热体中的石墨基板12得到加热。利用程序器使导入的各种反应源气体的流量和混合比连续变化,反应炉内的总压力通过压力传感器控制装置10使之保持一定。 上表是合成SiC/C系梯度材料的CVD工艺条件。左图是具有热应力最佳效果的SiC/C系梯度材料中SiC含量与SiC/C梯度膜厚的定量关系。由于合成SiC/C系梯度材料时,原料气体组成比是按时间不断变化的,所以梯度层厚度的增长速度与其中的碳含量并不呈线性关系。按此表的工艺条件,即使SiCl4-CH4-H2物系在1773K、13Kpa条件下,可以得到具有设计组成的SiC/C梯度材料。 3.3.2 物理气相沉积
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