微流体粒子图像测速技术在微流量测量中的应用.docVIP

微流體粒子圖像測速技術在微流量測量中的應用 王昊利1，蘇中地2，李東升2 中國計量學院計量測試工程分院 1.講師，2教授摘要：微流體粒子圖像測速技術是近年來國際上出現的一種非接觸式定量全場視覺化速度場測量技術，它是在宏觀流動的粒子圖像測速技術基礎上，將顯微觀測技術應用於微流體速度場測量。本文通過對這一技術發展現狀和若干關鍵技術進行介紹的基礎上，提出將該技術應用於測量微細通道的流量，並利用micro-PIV實現了0.8mm長直微通道速度場和流量的測量。測量結果表明，利用這一技術完全可以實現微通道流量的高精度測量。 The microscale particle image velocimetry for the measurement of microflow rate Haoli Wang, Zhongdi Su, Dongsheng Li College of Metrological Technology Engineering, China Jiliang University, 310018, China Abstract: The microscale particle image velocimetry (micro-PIV) is one quantitative, visualized and full field technique for the velocity measurements of flows at microscales, which is based on the PIV and microscope observing techniques. Based on the introductions of the development and some key techniques of micro-PIV, we introduce this technique into the water flow rate measurement at microscales in this paper. We use the micro-PIV to measure the velocity and flow rate of 0.8mm microchannel whose cross section is square. The experimental results show that high accurate flow rate measurement can be realized by micro-PIV techniques. 1. 引言 微流體粒子圖像測速技術（micro-PIV）是近年來國際上出現的微流體（流動特徵尺度在1μm～1mm之間）全流場定量視覺化測量技術，也是利用鐳射進行照明的一類非接觸式測量技術。Micro-PIV是在傳統粒子圖像測速技術（PIV）的基礎上發展起來，通過在CCD相機前加裝顯微鏡，或者將CCD相機安裝於一類高性能顯微裝置上，對微流場內部播撒的示蹤粒子的進行顯微成像。在對粒子圖像進行複雜的統計分析基礎上得到被測區域具有很高的空間解析度的整場速度分佈。按照文獻[1]的介紹， micro-PIV速度測量的最高空間解析度能夠達到單個微米量級。因此，這一技術的出現和發展為研究微流體內部流動結構提供了重要的技術支撐，在微流體力學研究領域具有里程碑式的意義。從micro-PIV技術產生初期的代表性實驗中可以看到這一技術在微流場的研究中的重要作用[2,3]。截止到2005年，國際上針對簡單和複雜微流體速度場開展了大量的micro-PIV實驗研究，取得了豐富的研究成果。文獻[1]對上述成果及Micro-PIV的關鍵技術作了較為全面總結和分析，可參閱。國內開展這一研究時間雖然不長，但也取得了一些進展，代表性的成果可見文獻[4-6]。micro-PIV技術的主要不足是對被測元件有一定的要求，如材料必須要有很好的透光性能。而且該技術用於氣體微流動測量還有諸多困難，相信在不久的將來能夠有所突破。 目前，流量測量的一個重要趨勢是向微升和納升級流量的高精度測量方向發展。這是適應生物醫學和化學分析中提出的晶片實驗室（Lab-on-Chips）以及微電子機械系統（MEMS）發展對高精度流量計量的要求，同時也是能源科學、熱科學、電子技術、電腦技術、機械製造與加工技術以及農業科學與工程等發展的需要。眾所周知，準確測量微米級通道內的水流量是很困難的，因為傳統的流量測量設備往往很難做到小於1mm的尺度。同時，由於微米尺度通道內的流體運動速度相對緩慢（否則功耗將非常高），一般的流量計量儀錶的精度很難達到微流體流量測量的要求。但是如果我們能夠準確測得通道內各點的流體運動速度，則將通道截面所有