1106024245欧阳茂杰-毕业设计开题报告讲诉.docVIP

中北大学 毕业设计开题报告 学生姓名： 欧阳茂杰 学号： 1106024245 学院： 仪器与电子学院 专业： 微电子学 设计题目： SOI压力传感器敏感膜结构及工艺设计 指导教师: 梁庭 2014年11月10日 毕业设计开题报告 1．结合毕业设计课题情况，根据所查阅的文献资料，撰写2000字左右的文献综述： 文献综述 一．该课题的背景及意义 压力是基本的物理学参数之一,压力的测量和控制在科学试验,国防和国民经济各部门占有十分重要的地位。将压力信号转变为电信号的电压进行测量,以确定压力的数值的装置称为压力传感器。获得应用的压力传感器种类很多。70年代以来,利用硅的压阻效应和集成电路技术制成的硅压阻压力传感器具有灵敏度高,动态响应快,测量精度高,稳定性好。易于小型化,能够进行批量生产,使用方便等特点,发展十分迅速、应用日益重要和广泛,是发展非常迅速的一种压力传感器[1]。 随着微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System ,MEMS）技术逐步成为跨学科高新技术研究领域，形成了包括各种微电子、微机械、微光学及各种数据处理单元的微系统，其中以集成电路加工技术为基础的硅基微加工技术发展迅速。而在微电子制造工艺基础上，硅微结构的MEMS加工工艺吸收融合其他加工工艺实现各种微机械结构，应用MEMS技术研制新型的硅氧化物绝缘体(Silic