精密表面缺陷特性与光学显微散射成像系统的研究.pdf

秽 l 游嚣夫攀颈±论文 87拿器9客 摘 要 疵瘸的检测是精密元件艨避检测的主要项舅之一。稽密表面臧瘸对光学元件的影响 营走表现为数瓣，著在系统中遮藏一拿连续效应，孳l超其恁严耋瓣筑害。毽瑟簌竞掌热 工农疲蠲中疵瘸髂检测越来越受弱重锈。 结含嶷际大口径元件的检测瑟求，本论文中掇出了一种疵病检测方法，并默此建立 了疵病检测系统，即光学显微数射成像系统。该系统采用环状分布的多寐光纤光源照明， 憋光戳一定热度入射到被梭袭露，使疵病数射光波像在变倍显微物镜审；躯得到墨像是 藉替最主的亮疵病像，菲零漶台于数字蚕橡楚毽；遁避光照系统豹合溅设诗，实现了对 表面上任惑分布的疵痫的检测；系统疵病检测分辨举已经达到微米蛩缀，可对微米甚至 是亚微米宽的疵瘸成清晰的像。 本论文中主要杰窑包括默下足个方嚣： 罄凳，姨疲痰特爱着手，分褥凌瘸对走学系绫蕊影豌。枣子痰滤梭溺主要稳用表甏 疵病豹散射光进行，馥此论文中讨论了多辫l表鬣散射豹情况。并且根据课题检测疵病的 主要内容，分析光学盟微散射成像中各种散射的特性和主要表现，提出了适用于光学显 微成像的疵痛散射理论。 冀次，论文系统缝_奔缮了捻溅系统吝部分憋凌艇，雹瑟光派照爨罴统、显徽系统、 乎磊扫拯系统帮系统定檬等几个部分。羞重分辑了光源照弱系统孛磐方露参数对瘟病成 像的影响，建立了能够撂到邋台予数字图像处理的瘸瘸图像的光源照躜系统。在系统标 定部分，’论文中提出了一秘全新的标准比对板设计期制作方法，建立了疵病检测量化的 标定系统，对痰瘸检测实现互E礁度量。 最嚣，文章中分褥了惫学爨微敬瓣或豫系统熬实验缮莱，分辑瘀瘸散射先戒像对癜 瘸成橡的放大作用。利用标礁比对板中的标准疵瘸，建立疵病数据库米分析疵病散射硪 像特能，并确定标准比对函数。经实际疵病检测稳验，利用该标准比对函数能对疵病实 现正确量化。 蘧遗良主足方垂靛工佟，鬟毒髓蜜表嚣缺鏊鹣姆鳋避幸亍了全嚣携分耩，宠藏了表嚣凌 瘸检测从瑕论分析委轮测系统完整构建窥实际捡测实验的逶学，荐剩瘸瘸检测与疵瘸特 性相结台的一系列较为系统的研究。 关键字：教射藏穰显镞成像疯痪翅瘦耪赛表覆党学表麓 瓣挺大学硕士论文 A弘鬟重r鑫e鼍 1溉e is de地cti雌ofd。fects o辩硝蕊po她ntdet喇i摊a蹬ectsofpreoiseek糊e幽’唾uali移 in Defectson surfacescanc疆潞e and瓣suhin olementseVenin也e op蛀。al sca托撕ng damage mOreandmOre todetcct班edectS system．Soit’s砖∞ming in臻ort鞋nt h印ticai 撼㈣蠡g鳃￡参熊鑫a嚣tli铺盎∞。 new t0the of l螂urcm髓tof elements，a Acco羽ingdetectingfeI莲越糟mentlargea黼揪lre defectsisadvarIced，BaSedon new defectsWhjehi8n锄ed