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微加工三轴加速度传感器 技术指标： 灵敏度：500mV/g ， 量程：10g， 频率范围：0.5-2000Hz，安装谐振点:8kHz ， 分辨力：0.00004g ， 重量：200g ，安装螺纹：M5 mm ， 线性误差：≤1% 硅微加工加速度传感器原理 1—加速度测试单元 2—信号处理电路 3—衬底 4—底层多晶硅（下电极） 5—多晶硅悬臂梁 6—顶层多晶硅（上电极） 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。当它感受到上下振动时，C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1kHz以上，允许加速度范围可达10g 以上。如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。 加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时， 微处理器据此判断发生了碰 撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 装有传感器的假人 气囊 汽车气囊的保护作用 使用加速度传感器可以在汽车发生碰撞时，经控制系统使气囊迅速充气 。 汽车气囊对驾驶员的保护作用 利用加速度传感器实现延时起爆的钻地炸弹 传感器安装位置 3 湿敏电容 (Humidity sensitive capacity) 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为80），所以电容量增大。 湿敏电容外形 吸水高分子薄膜 湿敏电容模块及传感器外形 湿敏电容传感器的安装使用 在野外的使用 带报警器的家庭使用型 多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 4 电容式油量表 机械式油量表： 在油箱内，装有类似卫生间水箱里的浮球，通过杠杆带动电阻丝式圆盘电位器，由电流表指示出油量。 电容式油量表 当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为?m处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量Cx减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），同时带动RP的滑动臂移动。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（? x 处）。 该油量表属于开环系统还是闭环系统？ 该油量表可用于飞机油箱 5 电容式接近开关 (Proximity Switch) 电容式接近开关的核心是以电容极板作为检测端的电容器。组成：LC高频振荡电路、检波器、直流电压放大器等。当没有物体靠近检测板时，上下测极板间的电容量很小。LC震荡频率高，检波器输出电压大。当被测物体为导电体时，上下检测极板间的电容增大，输出电压减小。 电容式接近开关 被检测物体可以是导电体、介质损耗较大的绝缘体、含水的物体（例如饲料、人体等） ；可以是接地的，也可以是不接地的。 调节接近开关尾部的灵敏度调节电位器，可以根据被测物不同来改变动作距离。 电容式接近开关外形 齐平式 非齐平式 非齐平式接近开关的安装 非齐平式安装时，传感器高于安装支架，易损坏。 全密封防水式 远距离式（大量程） 电容接近开关的规格 电容式接近开关在液位测量控制中的使用 电容式接近开关在液位物位测量控制中的使用 电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示 Chapter 3 Capacitive Sensor(电容传感器） In this section, we will learn the theory and application of capacitive sensor. We will also learn how to use capacitive sensor to measure pressure, level (液位), accelerate (加速度）， 湿度 （humidity) and other parameters. I. Working theory of capa