激光微加工系统中若干关键技术研究.pdf

u 四细分辨向后分辨率为l m，满足系统对反馈部件分辨率的要求。 4加工的运动轨迹文档的形成。PC计算机可以通过三种方式形成工件加工轨迹 文档并下载至控制器：(1)利用被观察的工件的CCD图象的像素点的位置与工件在x —Y平台的坐标的对应关系形成加工轨迹在CRT上通过键盘(或鼠标)的移动形成 的点阵图作为加工轨迹文档：(3)经各种图像输入设备得到的图像文件经图像处理和 二值化转换形成的点阵图作为加工轨迹文档。 5运动控制的实现。在定位控制中，对步进电机采用闭环和加减速控制，通过 算法可以将误差控制在2口m以内：在轨迹控制中，在速度低于2．5mm／s时(脉冲频 m以内。 率2KHz)，基于光栅尺的闭环系统中，控制误差在2p 6本系统采用的电磁兼容性措施(包括SMR抗干扰措施以及光电隔离等)和在 设计安装过程中的采取的其他可靠性措施保证了控制系统安全、可靠地运行。 Abstract Laser has been useddue toits realization micro·processingwidely of easy processing and automation．Laseris conditions，highpowerdencity,broadobjects processing high and are embracerinthelasermicro energyprovider objectsenergy processing processing istherelative between movement laserand the system．Theprocess the spot thesurfaceof lots of modes canberealized．Themethodthatlaserbeamfixed object，so processing is and ismovableis inthe inthe processingobjects acceptedsystem．Thedesign systemic isto thesis the ofmovementcontrol andrealization part system．Thedesign，installation are basedonthe completed designproject． ofthecontrol control is of unit， composedsetting 1．Comp