CIGS基础知识讲课.ppt

历史   CIS由Hahn于1953年发明。   贝尔实验室70年代早期 开始将其用作太阳能电池   80年代波音和ARCO 分别用共蒸和溅射硒化法作进一步研究,将CIS掺镓成为CIGS   目前最高效率19.5% CIGS优点   1.高效率(19.5%,近于非晶硅) 2.稳定性(无衰减,耐辐照) 3.低成本(薄膜、连接) 4.钠效应 5.短能量偿还时间 6.适应于很多应用(弱光、空间、柔性基片)  7.很多研究和发展空间    CIGS的结构 物理性质 CIGS的性质   带隙:对CIS为1.04eV,CIGS随镓含量增多导带上升,带隙增加,CGS为1.65eV。   带隙增加也可以用硫代替硒,此时价带下降   电属性:富铜为p型 富铟为n型   典型的p型载流子浓度约1016/cm3   迁移率:薄膜高于块状 单晶高于多晶   空穴为15-200cm2/Vs   电子为90-900cm2/Vs   介电常数:低温下13.6±2.4   高温下8.1±1.4   电子的有效质量为0.09电子质量   重空穴为0.71电子质量   轻空穴为0.092电子质量   CIGS中的缺陷主要有:空位 取代原子 晶粒间界等  表面和晶相   生长的CIGS一般为柱状多晶,典型晶体大小1微米,[112]晶向沿垂直薄膜厚度方向 电池组件结构   包括:基底、(阻挡层)、背电极、吸收层、(硫化镉缓冲层)、i-zno缓冲层、n-zno上电极层、(减反射层) 基底   基底有刚性的玻璃、陶瓷基底和柔性的金属、塑料基底。   一般用普通的钠钙玻璃。   金属基底要在金属上加绝缘阻挡层   塑料基底要注意所耐温度限制   硼硅玻璃热膨胀系数过低,聚酰亚胺热膨胀系数过高,要采用特殊工艺 阻挡层    要求阻挡层的情况:   1.金属基板为求绝缘   2.外加钠源时准确控制钠浓度   阻挡层的材料:   氧化硅、氮化硅   沉积方式:   射频溅射 背电极    背电极一般用钼,通常为直流溅射沉积,优点为稳定性、高反射率、低电阻,缺点为形成硒化钼   可能的替代材料为钽和铌   对双面电池,用导电氧化物层代替钼 吸收层沉积方法   主流沉积方法:   三步共蒸和溅射硒化   其他沉积方法: 反应溅射  化学水浴沉积  激光蒸发 第一缓冲层    硫化镉缓冲层,优点是(111)面和CIGS(112)面匹配,缺点是环境问题   通常制造方法:镉盐+铬合剂+硫脲 化学水浴沉积   其他制造方法:真空蒸发 溅射 原子层化学气相沉积 电沉积   其他制造方法共同缺点:破坏吸收层   无镉缓冲层:欧洲法律规定所有电器必须无镉,暂不包括光伏装备   无镉缓冲层一般为锌和铟的硫属元素化物,制造方法和硫化镉相似   主要问题:效率不够高 光照下 产生亚稳态 第二缓冲层    高阻本征氧化锌层,一般厚度50nm   优点:增加二极管性能   主要沉积方式:射频溅射 透明电极层 上电极 要求:n掺杂透明导电氧化物 高透明性、低厚度以降低光学损耗 低电阻、高厚度以降低串联电阻损耗 选用材料: 纯材料 氧化锌 氧化铟 氧化锡 组合材料 AZO GZO IZO ITO 沉积方式 直流溅射(大规模) 射频溅射 反应溅射 划线 划线可为激光、光刻划线或机械划线 第一步钼层较硬,必须激光划线;第二步以后可用机械划线 线宽低时可能短路,线宽高时遮光损失大 划线间距低时遮光损失大,划线间距高时电阻损失大 一般死区总宽0.5-1mm,划线间距5-10mm,光学损失约10% 生产线 实际生产分为流水线生产和批处理 流水线生产自动进行,基片在传送带上匀速运动,但速度慢的处理过程需要很长的流水线 批处理自动或手动进行,一次进行很多基片的处理,处理速度慢时只要处理量大也能得到低成本 不同的工序可以两者结合起来  生产成本 生产成本分为直接成本和间接成本 直接成本不随产量变化,主要是材料成本 降低直接成本的方式:提高材料利用率 降低次品率 间接成本随产量增加而降低,主要为设备成本 环境考虑 主要环境问题:镉污染、硒和硒源毒性、铟材料缺乏 解决办法: 废水除镉 镉替代 单质硒化 铟回收利用 发展方向 新生产技术:改进沉积装备 更好过程控制 新材料 轻和柔性基片(塑料、金属) 宽隙合金(含硫) 无钼背电极(钼合金、钽、铌) 无镉缓冲层(含锌、铟) 无铟吸收层(含锡)  新的透明电极(高透光高导电性)  新器件结构:无缓冲层 双面电池 多层电池 多层电池结构:宽隙在上,窄隙在下 初期低成本:非真空过程  效率估计 光生电流影响短路电流 复合损失影响开路电压 电阻损失影响填充因子 钠效应 复合发生在各层界面、空间电荷区和块吸收层 最主要机制为CIGS空间电荷区SRH复合,因此需要在制备时减少复合

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