超精密角位移测量和智能控制技术的研究.pdf

摘要 摘要 精密角度定位技术是整合了机械、电子、光学及智能控制于一体的复合控制 技术，广泛应用于精密角位移测量与控制场合，如集成电路中硅片平面度的检测、 精密导轨的直线度检测等。本文主要研究利用激光莫尔信号实现精密角位移测量 与控制的方法及关键技术，主要包含了以下几个方面： 研究了两级光栅衍射所产生的莫尔信号的角位移特性，建立了莫尔信号光强 与角位移测量的数学模型。通过计算机仿真对建立的数学模型进行了研究。仿真 结果表明，两级光栅衍射后的莫尔信号强度会随着光栅间距变化呈周期性变化， 当光栅间距为矿／旯的整数倍时，莫尔信号幅度变化最大，同时莫尔信号强度也随 两片光栅的相对角位移呈周期性变化。 在建立了莫尔信号角位移测量模型的基础上，设计了宏微复合式驱动定位系 统。宏位移机构以步进电机为核心，以精密丝杠为传动机构，根据光栅检测到的 位移信号及工控机发出的脉冲指令，完成精度为土5肚rad的初始定位：微位移机构 以压电陶瓷为核心，以柔性铰链为传动机构，根据角位移检测信号的大小，发出 相应驱动电压，驱动压电致动器发生形变，从而带动传动机构完成微小角度的调 整，最终实现高精度、大行程的精密角位移测量和控制，角位移精度可达± l00rlrad。 在精密角度定位过程中，由于压电陶瓷存在着非线性缺陷，为了提高精密角 度定位的精度和稳定性，本文对压电陶瓷的输入输出特性进行了实验分析，并应 用神经网络技术模拟压电陶瓷的输入输出，减小压电陶瓷非线性对精密角位移测 量与控制的影响，有效的提高了角位移测量的精度和速度。 关键词：角度定位莫尔信号压电陶瓷神经网络 Abs仃act Abstract Precision isa corltrol an则arpositioIlingtecllllologyconlpoundsystemintegrated used 、vith control，wKch in nlechaIlical，elec仃011ic，optical，andintelligent is、析dely meaSurementandconn．olsuchaS也edete商onof也e precisionangulardiSplacement flatIlessofsiliconwafermtlle circuitandtIle meaSureⅡ1entof imegrated s缸g№ess diss嘲at．onfocuSeson也e of te{抽∞logy aIlgular precisionguide．TKs key precision me硒urementaJldcOr灯Ol laSerMOir6 detailsare diSplacemem byutilizillg si印als．The aLS f01lowiIlg： ThecharacteriSticsof ofMoir6 di伍acteddouble angulardiSplacementsigllals by were macllematicmodelon ofMoir6 g删cillgsa11alyzed．A inteIlSi够deViationsi口al