等离子体综述精讲.docxVIP

等离子体综述 摘要 对等离子体、平均自由程、德拜长度等一些概念做了详细述说。主要是分析了各种郎缪尔探针的优劣，及评价探针结构优劣的理论依据，最终得到最优化探针结构。 一、引言 1.等离子体 “等离子体”其本意是电离状态气体正负电荷大体相等，整体上处于电中性。是气态下继续加热得到的一个状态。我们知道，物质的温度实际上是用来描述其内部粒子运动的剧烈程度的，当气体温度很高时，气体的物质分子热运动加剧，相互间的碰撞就会使气体分子产生电离，这样，物质就变成由相互作用并自由运动的电子和正离子组成的混合物。物质的这种存在状态被称为物质的第四态，即等离子体态。 等离子体中并不是所有的原子都会被离子化：工艺过程中用到的冷等离子体仅仅有1-10%被离子化，余下的气体仍然保持为中性原子或分子。在更高的温度，例如热核研究，等离子体完全离化。 通常来说，粒子流是处于热平衡的，意味着原子或分子具有麦克斯韦速率分布 fv=Ae-(12mv2KT)（1） A是标准因子，K是玻尔兹曼常数。T是温度，它决定了分布宽度。 在等离子体中，离子、电子和中性粒子具有自己的温度：Ti， Te， Tn。三种粒子能互相渗透，但不能充分地碰撞从而使三种粒子等温。这是由于相对于大气压下的气体，等离子体密度非常低。但是每种粒子能和自己充分碰撞从而获得麦氏分布。麦氏分布是由于气体分子碰撞频繁所致？ 非常热的等离子体可能不是麦氏分布了，这个时候需要“能动理论”解释。为了方便，表示温度一般用电子电压（eV）。典型低温等离子体电子温度是1~10eV，1eV=11,600K。 等离子体被普遍认为非常难理解，相对于流体动力学或电磁学来说确实是这样。等离子体作为带电粒子流，既有粒子间的相互碰撞又会受到电场或磁场的长程力影响。还有一个原因是，大部分的等离子体相当稀薄和热以至于不能视为连续的流体。典型低温等离子体密度值是108-1012cm-3。 2.德拜长度和鞘层 等离子体是带电粒子流，它以一种复杂的方式满足麦克斯韦方程组。等离子体中电场和磁场控制带电粒子的轨道。同时，带电粒子的移动能形成电荷团，从而产生电场或电流，进而产生磁场。 ??D=??εE=e(ni-ne)（2） 通常可以直接用ε0代替ε 对于静电场有 E=-? V（3） 代入上式有， ?2V=(εε0)(ne-ni)（4） 这个式子限定V在一个范围内变化。为了更为明显，我们将?2用1/L2代替，L就是V变化范围的长度。这样就得出电场中电子的电势能与热能之比 eVKTe=L2(ne-ni)e2ε0KTe（5） 右边的长度范围，就叫做德拜长度，定义为 λD=ε0KTenee212（6） 代入λD，等式（5）就成了 eVKTe=L2λD2(1-nine)（7） 式子左边不太可能远远大于1，因为大的电势进入到等离子体中，例如连接上电池的细丝，环绕细丝的电荷云会立马形成来阻止外来电势的干扰。 将ε0和e的值代进去，等式（5）就得到 λD=7.4Te(eV)ne（1018m-3）μm（8） 等离子体行为的一个基本特性是它具有屏蔽掉作用于它上面的电势的能力。德拜长度是描述等离子体的一个重要的空间度量，它是德拜屏蔽作用的距离。 在主体等离子体中，V将在一个距离内变化，这个距离由等离子体大小决定。如果我们取L为10cm的量级，这个尺寸是实验室等离子体平均尺寸，（L/λD）2就是108的量级，因此ni必须大致与ne相等才能使得式子左边合理的小。 然而，有一个区域，叫做鞘层，这里L是λD的量级；在这里ne/ni不必接近1。ni约等于ne的情况就叫做准中性，这可能是等离子体最重要的一个特性。带电粒子总能通过移动来屏蔽电势从而维持正负粒子密度相等（假设离子带一个电荷）。在靠近腔壁或者插入等离子体的物体如探针周围，L大约是德拜长度的量级，准中性被打破。腔壁电势相对等离子体是负电势，这是由于电子平均热运动速度远远大于离子的平均运动速度。打在金属丝表面上的电子数目远远大于离子的数目，累积了一定数量的负电荷，产生明显的悬浮负电位。 3.等离子频率和玻姆判定 在等离子体中，有电磁波和两种声学波（对应正负电荷，如果等离子体是部分电离的，中性气体也能有自己的波）。电子流中的声波就叫等离子体波或等离子体振荡，有着非常高的特性频率通常到了微波范围。大致情况是，一大波电子偏离正常位置，留下离子在原先位置（离子太慢了，整个过程可以视为静止的），然后离子又将电子拉回来，就这样来来回回。振荡频率 ωp≡（ne2ε0m）12 rad/sec（9） 频率归一化有 fp=9n(1012cm-3)GHz（10） 这个就叫做等离子体频率，仅仅取决于等离子体密度。 离子流声波表现不同，表现为速率性质。由于电子具有热动能，随机的热运动使得屏蔽效果不是完全的，导致小部分电场从德拜云中泄露。 离子声学速