集成光波导SPR传感器的实验制作与工艺研究.pdfVIP

致谢 值此论文顺利完成之际，我谨在此向硕士期间曾经给予过我帮助与支持，指 导与建议的老师，同学，朋友及家人致以最真挚的感谢。 感谢导师李明宇副教授，从刚进实验室开始，您就给予了我许多耐心的指导 与建议。作为我的导师，硕士的两年期间您在生活与学业上都给予了莫大的帮助， 并安排了我作为专业学位硕士在杭州士兰集成电路有限公司长达一年的实习。您 的指导使我的理论水平有了很大的提高，并对我的实验的进展有了极大的帮助。 感谢导师何建军教授，您渊博的学术知识，严谨的治学态度，坚实的理论基 础，对学生和蔼亲切的热心指导，以及谦虚踏实勤奋的工作态度，都给我留下了 极深的印象，将让我终生受益。 感谢范世琦师姐，王俊师兄，秦丽师姐，朱洪力师兄和马骁师兄，感谢你们 在我硕士期间的热情帮助与支持，是你们在实验方面的耐心帮助与指导使得我的 研究与实验开始了起步，并取得不断进步。感谢你们在多方面的实验问题上的答 疑解惑。 感谢光与电磁波中心集成光电子研究中心(IOE组)的所有同学，感谢你们 在我硕士期间的热心帮助与支持，让我体会到了这个大家庭的温馨与和睦。 感谢杭州士兰集成电路有限公司技术中心的闻永祥总监，设计中心的刘慧勇 总监，王昊，王维建，赵学峰等几位工程师，是你们的耐心帮助与实验上的指导 让我逐步学会了繁琐的仪器操作与工艺规范化流程，并完成了流片工作。 感谢蔡金，曹墨源，杨天领，孙阳，感谢你们在生活中对我的耐心照顾与包 容，感谢你们对我在学术上与实验中的诸多指导，与你们的友谊使得我的硕士生 涯更加富有精彩而意义。 感谢我的父母，感谢你们多年以来对我的养育之恩以及培育之德。你们的支 持与帮助是我不断迸步的最大动力。 最后在此向在硕士期间给予我帮助与支持的所有人再次致以最衷心的感谢! 王任锐 二零一三年一月于求是园 摘要 在21世纪，由于人们对生活水平的不断追求以及科学研究的需求的不断提 高，使得目前传统的常规传感器以及集成探测器的灵敏度在某些特定的应用环境 之中并不能够再很好地适应目前社会与科研的最新需求。在此背景下，设计，开 发和研究更高要求，更小型化，更加集成与便携的传感器便成为了当务之急。 Plasama 近年来，针对应用表面等离子体共振(Surface Resonance，SPR) 现象而开发出的一系列传感器，由于其灵敏度高，设计简单，可实现实时免标记 选择性检测等一系列优点，受到了开发者的重视，目前SPR传感器已经被广泛地 应用在生物医学，生物检测，化学检测，环境检测等一系列领域之中，与传统传 感器相比，具有很高的性能以及相对低廉的生产价格等一系列优势。 随着光电子学与集成光学技术的不断发展，目前的传感器也更加向着集成 化，小型化甚至微型化的方向发展，但目前大多数的SPR传感器结构都基于传统 的棱镜结构，大部分需要由极为复杂的元器件组成，体积偏大，因此，在一块普 通的硅片或SOI片上集成传统的SPR传感器是一种必然而不可替代的发展趋势。 同时，由于传统的半导体工业与现代集成光学的实验室流片的试验特性的区别， 一般而言利用传统的半导体工业技术加工现代化的集成光学器件会遇到不同的 困难，如工业标准化与实验室仪器高精度高加工要求的矛盾，将实验室设计的集 成芯片集成到传统半导体工业中送行大规模生产的矛盾等一系列问题。因此，如 何结合传统的半导体行业加工工艺技术来为最先进的集成光电子芯片设计进行 加工与制作成为了光电子产业亟需解决的另一难题。 本文针对前面提到的两个问题，提出了一种新型的SPR传感器结构，利用解 理端面作为镜面，将传统的棱镜结构移植到SOI波导上，实现了器件的小型化与 集成化，器件尺寸达微米级别。而通过与杭州士兰集成电路有限公司的合作，针 对上文所述的传感器，利用传统的半导体工艺进行加工，最大程度化地利用了传 统工艺的优势，优化了掩膜的制作过程与工艺生产过程，制作出了先进的光波导 SPR传感器芯片，并取得了良好的测试结果，为未来该传感器的大规模生产化以 及半导体行业针对光电子行业转型的工艺过程提出了一些建议。 关键词：集成光波导表面等离子体共振半导体工艺生物