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SEM原理及应用实例 主要内容 SEM基本原理 1 SEM分析应用实例 2 SEM工作原理 扫描电镜是用于检验和分析固体微观结构特的最有用的仪器之一。与透射电镜的成像方式不同，扫面电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。 由三极电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过2-3个电子透镜聚焦后，在样品表面按顺序逐行进行扫描，激发样品产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。这些物理信号的强度随样品表面特征而变，它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后，送到显像管成像，得到样品表面特征图像。 SEM示意图 SEM特点 可以观察直径为10~30mm的大块试样，制样简单 场深大，适用于粗糙表面和断口的分析；试样有立体感，易于识别 放大倍数范围大 具有相当的分辨率 可以通过电子学方法有效的控制和改善图像质量 可进行多种功能的分析 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 SEM应用实例1 * * * *
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