01传感器概论研讨.pptVIP

为同时测量几种不同被测参数，可将几种不同的传感器元件复合在一起，作成集成块。例如一种温、气、湿三功能陶瓷传感器已经研制成功。 把多个功能不同的传感元件集成在一起，除可同时进行多种参数的测量外，还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价，可反映出被测系统的整体状态。分为：①同一功能的多元件并列化，即将同一类型的单个传感元件用集成工艺在同一平面上排列起来，如CCD图像传感器；②多功能一体化，即将传感器与放大、运算以及温度补偿等环节一体化，组装成一个器件。 1.4 传感器的发展趋势 1.4.3 发展趋势 4.集成化，多功能化 对外界信息具有检测、数据处理、逻辑判断、自诊断和自适应能力的集成一体化多功能传感器. 这种传感器具有与主机互相对话的功能，可以自行选择最佳方案，能将已获得的大量数据进行分割处理，实现远距离、高速度、高精度传输等。 智能传感器是传感器技术与大规模集成电路技术相结合的产物，它的实现取决于传感技术与半导体集成化工艺水平的提高与发展。这类传感器具有多功能、高性能、体积小、适宜大批量生产和使用方便等优点，是传感器重要的发展方向之一。 1.4 传感器的发展趋势 1.4.3 发展趋势 5.智能化 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，即微电子机械系统。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 1.4 传感器的发展趋势 1.4.3 发展趋势 6.微机电系统传感器 微型医疗机器人 侦察昆虫 MEMS机器人 针孔大小的MEMS 1.4 传感器的发展趋势 1.4.3 发展趋势 6.微机电系统传感器 在不同的物理现象中常存在相似现象，“异类相似”，所以可以用类似方法在异类现象之间进行研究，例如：用电场模拟温度场,导热现象模拟扩散现象。特别是用电路模拟非电现象，这在非电量测量中非常重要。用电路理论来模拟机械系统的问题，就是机电一体化理论的基础。 在线性电路中，用数学表达式描述电量间的关系。输出与输入之间的关系用微分方程来描述。 1.5 机电模拟及双向传感器 1.5.1 机电模拟 在线性机械系统中，也具有相同类型的微分方程。这两者相同类型称为相似系统。如：电阻、电容、电感组成的电系统与阻尼器、质量、弹簧机械系统相似。这样我们可以利用机械系统相对应的等值电路来描述机械系统的特性(谐振、频率特性、阻尼系数等)。利用成熟的电测量技术为机械系统模型的构成试验提供了很大的发展。 1.5 机电模拟及双向传感器 1.5.1 机电模拟 1.5 机电模拟及双向传感器 1.5.1 机电模拟 经常用的两种是力-电压模拟和力-电流模拟 在非电量测量中，经常遇到机械量变为电量的传感器，也称机电变换器。它的输入为机械量，输出为电量。但有些传感器具有能量变换的可逆特性，也就是输入量为电量，而输出量为机械量，具有这种双向机电可逆变换特性的传感器称为双向传感器。如：压电式和磁电压式传感器。 压电式传感器，就是利用某些物质(如：石英晶体、钛酸钡等)的压电效应，即当这些物质沿一定方向受力变形时，表面会产生电荷为正压电效应。如果在压电材料两极板面上加交流电压时，压电材料和压电片就会产生伸缩变形，称为逆压电效应。 F F 极化面 Q 压电介质 机械能 ｛ 电能 ｝ 正压电效应 逆压电效应 压电效应及可逆性 1.5 机电模拟及双向传感器 1.5.1 双向传感器 F F 极化面 Q ｛ 压电 介质 机械能 电能 ｝ 正压电效应 逆压电效应 压电效应及可逆性 1.5 机电模拟及双向传感器 1.5.1 双向传感器 本章要点： 第一章 传感器概论 1 传感器的作用 2 传感器的发展趋势 3 传感器定义和组成 4 传感器分类方法 * 第一章 传感器概论 主要内容 1.1 传感器的定义，地位和作用 1.2 传感器的组成和分类 1.3 传感器的要求及技术特点 1.4 国内外传感器技术市场和发展状况 1.5 机电模拟及双向传感器的统一理论 传感器技术是一门非常重要的技术,它是对一些非电量如:压力、力矩、应变、位移、速度、温度、流量、液位、重量等进行检测，在现代化的自动检测、遥控和自动控制系统中，传感器是必不可少的部分。 21世纪是现代信息技术的时代，而现代信息技术的三大基础是：信息采集、信息传输和信息处理技术。而信息采集就是通过传感器技术来实现的。说明了传感器技术在现代科学技术中的重要地位。 没有传感器就没有现代科学技术”的观点已为全世所公认。以传感器为核心的检测系统就像神经和感官一样，源源不断地向人类提供宏观与微观