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所有的薄膜沉积过程都涉及表面原子； 薄膜结构和成分表征的基础； 与其它相的相互作用； 表面原子通常更具活性： 三维无限晶体周期性被打破了 比体相中具有更低的配位数?悬键轨道。 表面结构和体相中的结构不同： 再构，迟豫，吸附 表面电子结构;;迟豫和再构;O2在Pt表面的分解过程示意图;LaAlO3;14种点阵;面心立方晶格 ;3) 体心立方晶格;复式晶格：包含两种或两种以上的等价原子;2) 相同原子但几何位置不等价的原子构成的晶体;CsCl的复式晶格;ZnS的复式晶格;钛酸钡（BaTiO3）的复式晶格;复式晶格的原胞 ;晶体表面对称性;二维表面结构;;表面原子的配位数为7;侧视图;Rotate 45o 表面原子配位数为8 (12 for bulk);表面原子配位数为9;侧视图;面心立方金属(111)表面的不同吸附位 Ni(111)-PF3/PF2/PF (顶位/桥位/空心位);侧视图;密排次序： (111),(100),(110),(311),(331),…;面心立方金属表面各层原子的配位数，断键数，和表面原胞面积;bcc金属表面各层原子的位置;BCC(111);;hcp结构表面各层原子的位置;hcp结构表面各层原子的位置;3.1表面原子结构;3.1表面原子结构;金刚石结构(110);金刚石结构(111);金刚石结构(001);闪锌矿ZnS结构的（110）面;极性面和非极性面;http://w3.rz-berlin.mpg.de/~rammer/surfexp_prod/SXinput.html;Materials Studio是一个采用服务器/客户机模式的软件环境，拥有世界最先进的材料模拟和建模技术，能够容易地创建并研究分子模型或材料结构，使用极好的制图能力来显示结果。与其它标准PC软件整合的工具使得容易共享这些数据。 Materials Studio采用材料模拟中领先的十分有效并广泛应用的模拟方法。Accelry’s的多范围的软件结合成一个集量子力学、分子力学、介观模型、分析工具模拟和统计相关为一体容易使用的建模环境。卓越的建立结构和可视化能力和分析、显示科学数据的工具支持了这些技术。 ;19;高指数晶面或称邻晶面;高米勒指数面;表面的几种结构和缺陷;表面的增原子和原子空位;金刚石表面能的估算：;金刚石晶胞的晶格常数为0.3560 nm 。以(111)为解理面则每边长为晶胞对角线的二分之一，即 ： (0.3560/2 1/2) ＝0.2517 nm 四边形的面积为：0.25172x31/2/2＝0.05487 nm2, 则每平方厘米面积上有1.827x1015个原子，即断键数。 由金刚石晶胞的键能为376.6 kJ mol-1 ;以(111)为解理面0K温度时金刚石的表面能为：;晶体表面能各向异形与Wulff图;晶体表面能各向异性的Wulff图。 (a),(b)二维正方晶体的a随q的变化；(c)三维立方晶体；(d)考虑次近邻后的结果;晶体外形的一般定则：;结合能是使固体束缚的原子间相互作用能量，它的大小与升华热（固体转变为气体）或气化潜热（液体转变为气体）几乎相同。（可测量量） 升华热对应于将原子由体内移出需要的能量?断键数 表面能对应于截断有关键能，产生两个新表面需要的能量?断键数 ?从升华热估算表面能;结合能 ;表面弛豫和再构;系统稳定要求dF=0，所以在恒定T，V的条件下;g(hkl);弛豫 (Relaxation);再构 (Reconstruction);再构表面和吸附表面的标记;Takayanagi et al. 1985;位错线;;;相对稳定的表面, 表面经常吸附H,H可以用电子束剥离(比如STM探针);A-step;GaAs(110)理想/驰豫表面;表面再构随温度的变化;Si(111)-(7x7)再构的反射式高能电子 衍射(RHEED);;Principle 1. A surface tends to minimize the number of dangling bonds by the formation of new bonds. The remaining dangling bonds tend to be saturated. Reconstruction tend either to saturate surface dangling bonds via rehybridization or convert them into non-bonding electronic states which may be filled by a lone pair of electrons or be completely empty. Ge(111)c(2x8), C