各种蓝宝石长晶方法汇整概念.ppt

蓝宝石衬底;各种蓝宝石长晶方法介绍;为何使用蓝宝石当 LED衬底材料;单晶蓝宝石长晶方法;提拉法(CZ); 坩埚上方有一根可以旋转和升降的提拉杆，杆的下端有一个夹头，其上装有一根籽晶。降低提拉杆，使籽晶插入熔体中，只要熔体的温度适中，籽晶既不熔解，也不长大，然后缓慢向上提拉和转动籽晶杆，同时缓慢降低加热功率，籽晶逐渐长粗。小心地调节加热功率，就能得到所需直径的晶体。整个生长装置安放在一个外罩里，以保证生长环境有所需要的气体和压力。;炉内保温系统剖面图;有关工艺参数控制;提拉法生长晶体的优点;提拉法生长晶体的缺点;坩埚下降法;坩埚下降法示意图;坩埚下降法原理;为了充分利用几何淘汰规律，提高成品率，人们设计了各种各样的坩埚。如左图所示。其目的是让坩埚底部通过温度梯度最大的区域时，在底部形成尽可能少的几个晶核，而这几个晶核再经过几何淘汰，剩下只有取向优异的单核发展成晶体。经验表明，坩埚底部的形状也因晶体类型不同而有所差异。;坩埚下降法的优点;坩埚下降法的缺点;热交换法(HEM);1)先加熱熔化坩堝內的原料,使熔 體溫度保持略高於熔點5~10℃ 2)堝底的晶種部分被熔化,爐溫緩慢下降 3)開通He氣冷卻 4)熔體就被未熔化晶種為核心,逐漸生長出充滿整個坩堝的大塊單晶;热交换法炉体示意图;热交换法的优点;热交换法的缺点;泡生法(KY);将晶体原料放入耐高温的坩埚中加热熔化 ,调整炉内温度场 ,使熔体上部处于稍高于熔点的状态;使籽晶杆上的籽晶接触熔融液面 ,待其表面稍熔后 ,降低表面温度至熔点 ,提拉并转动籽晶杆 ,使熔体顶部处于过冷状态而结晶于籽晶上 ,在不断提拉的过程中 ,生长出圆柱状晶体; 蓝宝石晶体不同工艺优缺点比较 ;温度梯度法 (TGT) ;温度梯度法示意图;温度梯度法特点;焰熔法;焰熔法基本原理;料锤周期性地敲打装在料斗里的粉末原料，粉料从料斗中逐渐地往下掉，落到位置6处，由入口4和入口5进入的氢气氧气形成氢氧焰，将粉料熔融。熔体掉到籽晶7上，发生晶体生长，籽晶慢慢往下降，晶体就慢慢增长。使用此方法生长的晶体可长达1m。由于生长速度较快，利用该法生长的红宝石晶体应力较大, 只适合做手表轴承等机械性能方面 ;导模法(EFG);;水平结晶法（HDC） ;欢 迎 提 问Q A;