第九章 气敏传感器.pptVIP

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作业:; ;;第九章 气敏传感器;;1、表面控制型气体传感器的原理;陶瓷吸附水分子原理:;基本原理;陶瓷吸附水分子原理:;N型半导体吸附气体时的元件阻值变化情况;2、元件材料;;B: 氧化锌 (ZnO) 系 ;催化剂对气敏特性的影响;气敏材料特点;3、气敏传感器的结构;A:烧结型;B、厚膜型;C、薄膜型;某气敏传感器的整体结构;;4、分类;气敏元件必须具备如下条件: ① 对气体的敏感现象是可逆的。 ② 单位浓度的信号变化量大。 ③ 能检测出的下限浓度低。 ④ 响应重复特性良好。 ⑤ 选择性好,即对与被测气体共存的其它气体不敏感。 ⑥ 对周围环境(如温度、湿度)的依赖性小。 ⑦ 性能长期稳定,结构比较简单。;气敏传感器的主要应用范围;5 基于MEMS的新型微结构气敏传感器;应用举例;膜混合电路气体传感器; 总 结

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