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真空技术在真空泵中的应用 院系名称 ： 理学院 专业班级 ： 应物1102班 学生姓名 ： 闫新政 学 号 ： 201121020216 真空技术在真空泵中的应用 闫新政 （河南工业大学理学院， 郑州， 450001） 摘要 本文主要介绍了真空技术在真空泵中的一些应用。以机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵、低温泵为例，分别介绍了它们的结构、原理和一些具体的应用等。文章最后对真空泵的应用前景进行了简单的展望。 关键词：真空技术；机械泵；扩散泵；分子泵；离子泵；低温泵 Abstract 本文主要介绍了真空技术在真空泵中的一些应用。以机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵、低温泵为例，分别介绍了它们的结构、原理和一些具体的应用等。文章最后对真空泵的应用前景进行了简单的展望。 This paper mainly introduces some applications of vacuum technology in the vacuum pump. The mechanical pump, diffusion pumps, molecular pump, ion pump, cryogenic pump as an example, introduces their structure, principle and some concrete application. Finally, the application prospect of the vacuum pump is a simple prospect. 关键词：真空技术；机械泵；扩散泵；分子泵；离子泵；低温泵 Keywords: vacuum technology; mechanical pump; diffusion pumps, molecular pump, ion pump, cryogenic pump 引言：随着真空获得技术的发展，真空泵的真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面；已经在工业、食品、航空航天等领域得到了广泛的应用。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。 1机械泵 1.1旋片泵的工作原理 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 图1 旋片泵的结构示意图 Fig. 1 Schematic diagram of the rotary vane pump 定子腔内高速旋转的偏心转子，使进气腔容积周期性扩大而吸气，排气腔的容积周期性缩小而压缩气体，并借助压缩气体的压力推开排气阀门，使待抽容器的气压下降 图2 旋片旋转时的几个典型位置 Fig. 2 rotary vane rotates several typical position 两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。?排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。 1.2 气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外，起此作用的阀门称为气镇阀。 工作原理：由于大气中都含有一定量的水蒸气，所以泵工作时所抽除的气体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合物。这种混合气体在泵内被压缩排气的过程中，如果可凝性气体的分压力超过了泵温下的饱和蒸气压，那么它们就会凝结并与泵油混合，随油一起循环。当它们返回到高真空端时又重新