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电子探针表面分析方法及原理 PAGE - 3 - PAGE \* MERGEFORMAT2 表面物理化学结课论文—— 电子探针表面分析方法及原理 学 院（系）： 专 业： 学 生 姓 名： 学 号： 教 学 老 师： 完 成 日 期： 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u   HYPERLINK \l _Toc391889169 摘 要  PAGEREF _Toc391889169 \h - 1 -  HYPERLINK \l _Toc391889170 一、显微分析方法  PAGEREF _Toc391889170 \h - 1 -  HYPERLINK \l _Toc391889171 1.1 电子探针显微分析  PAGEREF _Toc391889171 \h - 1 -  HYPERLINK \l _Toc391889172 1.2 离子探针显微分析  PAGEREF _Toc391889172 \h - 1 -  HYPERLINK \l _Toc391889173 1.3 低能电子衍射分析  PAGEREF _Toc391889173 \h - 2 -  HYPERLINK \l _Toc391889174 1.4 俄歇电子能谱分析  PAGEREF _Toc391889174 \h - 2 -  HYPERLINK \l _Toc391889175 1.5 场离子显微镜与原子探针  PAGEREF _Toc391889175 \h - 3 -  HYPERLINK \l _Toc391889176 1.6 扫描隧道显微镜  PAGEREF _Toc391889176 \h - 3 -  HYPERLINK \l _Toc391889177 二、电子探针显微分析原理  PAGEREF _Toc391889177 \h - 4 -  HYPERLINK \l _Toc391889178 2.1 电子光学系统与观察  PAGEREF _Toc391889178 \h - 5 -  HYPERLINK \l _Toc391889179 2.2 X 射线分光(色散)系统  PAGEREF _Toc391889179 \h - 5 -  HYPERLINK \l _Toc391889180 2.3 计算机系统  PAGEREF _Toc391889180 \h - 6 -  HYPERLINK \l _Toc391889181 三、电子探针仪的分析方法及应用  PAGEREF _Toc391889181 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889182 3.1 定性分析  PAGEREF _Toc391889182 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889183 3.1.1 定点分析  PAGEREF _Toc391889183 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889184 3.1.2 线分析  PAGEREF _Toc391889184 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889185 3.1.3 面分析  PAGEREF _Toc391889185 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889186 3.2 定量分析  PAGEREF _Toc391889186 \h - 7 -  HYPERLINK \l _Toc391889187 3.3 电子探针的应用  PAGEREF _Toc391889187 \h - 8 -  HYPERLINK \l _Toc391889188 3.3.1 断口分析  PAGEREF _Toc391889188 \h - 8 -  HYPERLINK \l _Toc391889189 3.3.2 镀层表面形貌分析和深度检测  PAGEREF _Toc391889189 \h - 8 -  HYPERLINK \l _Toc391889190 3.3.3 微区化学成分分析  PAGEREF _Toc391889190 \h - 8 -  HYPERLINK \l _Toc391889191 3.3.4 显微组织及超微尺寸材料的研究  PAGEREF _T