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ATLAS Barrel SCT module の 位置精度および平面度测定
新間 秀一, 加藤 陽一, 秋元 崇, 原 和彦（筑波）;1. 目的 (何故, 位置測定や平面度測定が必要か？）;1. 目的（つづき）;2. 測定装置;3. 測定方法;4.1 位置精度を記述するパラメータ;4.2 各パラメータに対する設計値と許容範囲;5.1 位置精度結果;5.2 測定結果 （QAサイクルによる変動量）;6.1 平面度を記述するパラメータ;6.1 (つづき);6.2 Mid-planeを用いたパラメータ;7.1 平面度測定結果;7.2 平面度測定結果 （ QAサイクル後）;8. まとめ
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