第二章02透射技巧.pptVIP

磁透镜;;带铁壳的带极靴的透镜;有极靴;4、磁透镜与光学透镜的比较;四、电磁透镜的像差和理论分辨本领;;2、像散;3、色差;4、畸变见书P106和P107 图2-10;五、电磁透镜的场（景）深和焦深（长）;焦深;第二节 电子与固体物质的相互作用;四、各种电子信号 ;2、透射电子;和背散射系数随质量厚度的变化;五、相互作用的体积与信号产生的深度和广度; ;日本日立公司H－700 电子显微镜，配有双倾台 ，并带有7010扫描附件和 EDAX9100能谱。该仪器 不但适合于医学、化学、 微生物等方面的研究，由 于加速电压高，更适合于 金属材料、矿物及高分子 材料的观察与结构分析， 并能配合能谱进行微区成 份分析。;JEM-2010透射电镜;EM420透射电子显微镜;Philips CM12透射电镜;;图2-23 电子显微镜的主体刨面图;（1）照明系统;电子枪是透射电子显微镜的电子源。 常用的是热阴极三极电子枪，它??发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成. 图2-24是电子枪结构原理图。在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子束直径约几十个微米。;聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统，如图2-25所示。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 ;（2）成像放大系统; 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下级之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。 为了减少物镜的球差，往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且或以提高图像的衬度。 此外，我们在以后的讨论中还可以看到，物镜光阑位于后焦面的位置上时，可以方便的进行暗场及衬度成像的操作。 在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离总是固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 ; 中间镜是一个弱激磁的长焦距变倍透镜，可在0-20倍范围调节。当M1时，用来进一步放大物镜的像；当M1时，用来缩小物镜的像。在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如图2-26所示。;（三）投影镜;物; 中间镜 （作物镜用）;（3）、图像观察记录部分;（4）、样品台（倾斜、旋转）;2、透射电镜的主要性能指标;; 放大倍数; 加速电压;三、透射电镜样品制备方法;;;2、薄膜样品的制备;;3、复型样品的制备;（1）衬度：电子图像的光强度差别。 ;电子束穿透试样后，在入射方向的电子数，即散射角小于α能通过光阑参与成像的电子数，随 的增加而衰减。;质厚衬度;（2）真空镀膜;一级复型是指在试样表面的一次直接复型。 塑料（火棉胶）一级复型，相对于试样表面来讲，是一种负复型，即复型与试样表面的浮雕相反。 碳膜一级复型是一种正复型。 二级复型是在塑料一级复型上再制作碳复型。 萃取复型是在复制表面形貌同时，粘附下第二 相粒子。 ;塑料一级复型;碳一级复型;投影;塑料－碳二级复型;在上述三种方法中， ? 碳一级复型分辨本领最高，可达2nm，但剥离较难； ? 塑料一级复型操作最简单，但其分辨本领和像的反差均比较低，且在电子束轰击下易发生分解和烧蚀； ? 塑料—碳二级复型操作复杂一些，其分辨本领与塑料一级复型基本相同，但其剥离起来容易，不破坏原有试样，尤其适应于断口类样。;萃取复型;;粒度分布均匀， 呈椭圆形， 可以计算尺寸; 思考题;四、电子衍射;电子衍射与X射线衍射相比的优点：; 电子衍射强度有时几乎与透射束相当，以致两者产生交互作用，使电子衍射花样，特别是强度分析变得复杂，不能象X射线那样从测量衍射强度来广泛的测定结构。此外，散射强度高导致电子透射能力有限，要求试样薄，这就使试样制备工作较X射线复杂；在精度方面也远比X射线低。;1、电子衍射基本公式和相机常数;2、单晶电子衍射谱;;单晶电子衍射谱的几何图形;3、多晶电子衍射谱;NiFe多晶纳米薄膜的电子衍射;非晶体的电子衍射图; 与X射线衍射法所得花样的几何特征相似，由一系列不同半径的同心圆环组成，是