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材料分析方法;第八章 电子光学基础;第一节 电子波与电磁透镜 光学显微镜发展简介 光学显微镜的分辨极限 电子波的波长特性 电磁透镜的原理;1590年，荷兰的詹森父子(Hans and zachrias Janssen) 制造出第一台原始的、放大倍数约为20倍的显微镜。;1610年，意大利物理学家伽利略(Galileo)制造了具有物镜、目镜及镜筒的复式显微镜。 1665年，英国物理学家罗伯特·胡克(Robert Hooke)用下图这台复式显微镜观察软木塞时发现了小的蜂房状结构，称为“细胞”，由此引起了细胞研究的热潮。放大倍数为140倍。 1684年，荷兰物理学家惠更斯(Huygens)设计并制造出双透镜目镜－惠更斯目镜，是现代多种目镜的原型。这时的光学显微镜已初具现代显微镜的基本结构。;现代光学显微镜;光学显微镜发展简史;放大200倍的斜纹藻 ;放大40倍的新月藻、硅藻和水棉;金相显微镜; 1、焊接金相检验； 2、铸铁金相检验； 3、热处理质量检验； 4、各种金属制品及原材料显微组织检验及评定； 5、铸铁、铸钢、有色金属、原材低倍缺陷检验； 6、金属硬度（HV、HRC、HB）测定、晶粒度评级； 7、非金属夹杂物含量测定； 8、脱碳层/渗碳硬化层深度测定等。 ;光学显微镜的结构;二、光学显微镜的分辨率极限;光学显微镜的成像原理;分辨率：成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 人眼的分辨率：0.1-0.2 mm。 光学显微镜分辨本领的理论极限为：;为什么光学显微镜会有分辨极限？;;光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。 可见光λ＝390～760nm，则光学显微镜分 辨 本 领 极 限为 200nm（0.2mm）。若 两 点 间 距 离＜200nm，则无法分辨。 把0.2μm放大到0.2mm让人眼能分辨的放大倍数是1000倍。这个放大倍数称之为有效放大倍数。光学显微镜的分辨率在0.2μm时，其有效放大倍数是1000倍。 光学显微镜的放大倍数可以做的更高，但是，高出的部分对提高分辨率没有贡献，仅仅是让人眼观察更舒服而已。所以光学显微镜的放大倍数一般最高在1000-1500之间。 ;如何提高显微镜的分辨率;三、电子波的波长特性; 不同加速电压下的电子波波长 ;四、电磁透镜;电磁透镜原理图;换一种角度思考：当电子速度v与磁感应强度B夹角不等于90度时，电子将作螺旋运动。;电磁透镜原理图; 短线圈磁场中的电子运动显示了电磁透镜聚焦成像的基本原理。实际电磁透镜中为了增强磁感应强度，通常将线圈置于一个由软磁材料（纯铁或低碳钢）制成的具有内环形间隙的壳子里（如右图）。 ;带有软磁铁壳的电磁透镜示意图; 为了使线圈内的磁场强度进一步增强，可以在电磁线圈内加上一对磁性材料的锥形环－极靴 替带软铁磁壳上的内环形间隙，尺寸可以更精确。可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。;四、电磁透镜特点;第二节 电磁透镜的像差与分辨本领 球差的原理及其消除方法 像散的原理及其消除方法 色差的原理及其消除方法 影响电磁透镜分辨本领的因素;实际的成像总是存在着对理想成像的偏离，这就是像差。 电磁透镜像差是限制电镜分辨率的重要原因。 校正像差，特别是球差、像散，一直是电子光学的一个重要的研究课题 电磁透镜的像差种类 几何像差：球差；像散 色差 ;透镜对离轴电子比离轴近的电子有更强的会聚能力，因而在高斯平面上，一个物点的像不再是一个点，而是一个圆盘。 最小球差散焦斑 其中：Cs-球差系数1-3mm；α-孔径半角。;如何减小球差？;消除球差的方法三：改变透镜形状。（很难）。;（二）像散;如果电磁透镜在制造过程中已存在固有的像散，则可以通过引入一个强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿，这个产生矫正磁场的装置就是消像散器。;（三）色差;引起电子能量波动的原因有两个，一是电子加速电压不稳，致使入射电子能量不同；二是电子束照射试样时和试样相互作用，部分电子产生非弹性散射，致使能量变化。;电镜分辨本领、分辨率 是指电镜系统能识别物中两个相邻点的能力；所能识别的两个相邻点之间的最小距离称之为分辨率?r0 . 显微镜的理想分辨率： 物镜不存在像差时的分辨率 也就是由衍射决定的Airy斑的第一个极小值的半径，亦即Rayleigh判据 电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定。 物镜的球差直接限制了电镜的分辨率。;（一）衍射效应对分辨本领的影响;Airy斑：由于衍射效应，在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑。;衍射效应决定的分辨本领?r0 ;（二）像差的影响;最佳孔径半角;;;;;;定义 透镜物平面允许的轴向偏差（移动距离）。 公式 典型值：2000