第二章应变式传感器介绍.pptVIP

第二章 电阻式传感器第一节 应变式传感器的基本原理和结构(Principle and Structure of Strain Gages); 电阻式传感器中的传感元件有应变片、半导体膜片、电位器等。由它们分别制成了应变式传感器、压阻式传感器、电位器式传感器等。 应变式传感器基本上是利用金属的电阻应变效应将被测量转换为电量输出的一种传感器。这类传感器结构简单，尺寸小，重量轻，使用方便，性能稳定可靠，分辨率高，灵敏度高，价格又便宜，工艺较成熟。因此在航空航天、机械、化工、建筑、医学、汽车工业等领域有很广的应用。; 一、 工作原理 1.金属的电阻应变效应 当金属丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化，这种效应称为电阻应变效应。 设有一段长为l，截面积为A，电阻率为ρ的导体(如金属丝)，它具有的电阻为： ??????? ??????????????????? ?(2-1) ???; 当它受到轴向力F而被拉伸(或压缩)时，其l、A和ρ均发生变化，如图2-1所示，因而导体的电阻随之发生变化。通过对式(2-1)两边取对数后再作微分，即可求得其电阻相对变化：;图2.1 导体受拉伸后的参数变化;而??? ; 1.金属材料的应变电阻效应 勃底特兹明(Бриджмен)通过实验研究发现，金属材料的电阻率相对变化与其体积相对变化之间有如下关系：;代入式(2-3)，并考虑到实际上ΔR/R，故可得; 可见它由两部分组成：前部分为受力后金属丝几何尺寸变化所致，一般金属μ≈0.3，因此(1+2μ)≈1.6；后部分为电阻率随应变而变的部分。以康铜为例，C≈1，C(1-2μ)≈0.4，所以此时K0=Km≈2.0。显然，金属丝材的应变电阻效应以结构尺寸变化为主。对其他金属或合金, Km=1.8～4.8。 ; 2.半导体材料的应变电阻效应 史密兹(C.S.Smith)等学者很早发现，锗、硅等单晶半导体材料具有压阻效应(piezoresistive effect) （具体见第六章）;;同样，将式(2-6)代入式(2-3)，并写成增量形式可得：; 对于半导体材料K0=Ks =(1+2μ)+πE。它也由两部分组成：前部分同样为尺寸变化所致；后部分为半导体材料的压阻效应所致，而且πE(1+2μ)，因此半导体丝材的K0=Ks≈πE。可见，半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应。通常Ks=(50～80)Km。; 二、具体实例 1.应变计的结构 电阻丝应变片是用直径为0.025mm具有高电阻率的电阻丝制成的。为了获得高的阻值，将电阻丝排列成栅网状，称为敏感栅，并粘贴在绝缘的基片上，电阻丝的两端焊接引线。敏感栅上面粘贴有保护用的覆盖层。如图：;图2.3 典型应变计的结构及组成(a)丝式 (b)箔式 (c)半导体 1—敏感栅 2—基底 3—引线 4—盖层 5—粘结剂 6—电极; 应变计的结构型式很多，但其主要组成部分基本相同。图2.2示出了丝式、箔式和半导体三种典型应变计的结构型式及其组成。 (1)敏感栅——应变计中实现应变-电阻转换的敏感元件。它通常由直径为0.015～0.05mm的金属丝绕成栅状，或用金属箔腐蚀成栅状。图中l表示栅长，b表示栅宽。其电阻值一般在100Ω以上。; (2)基底——为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置，通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基底上。应变计工作时，基底起着把试件应变准确地传递给敏感栅的作用。为此，基底必须很薄，一般为0.02～0.04mm。有用专门的薄纸制成的基片称为纸基。有用粘结剂和有机树脂薄膜制成的胶基。?? ; (3)引线——它起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。通常取直径约0.1～0.15mm的低阻镀锡铜线，并用钎焊与敏感栅端连接。 (4)盖层——用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层；起着防潮、防蚀、防损等作用。 (5)粘结剂——在制造应变计时，用它分别把盖层和敏感栅固结于基底；在使用应变计时，用它把应变计基底再粘贴在试件表面的被测部位。因此它也起着传递应变的作用。; 2.测量原理 用应变片测量时，将其粘贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，从而实现应变的测量。 通过弹性敏感元件，将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，则可用应变片测量上述各量，做成各种应变式传感器。 ; 应变片有如下的优点： ①.测量应变的灵敏度和精度高，性能稳定、可靠，