现代材料测试技术-第八章-电子光学基础.ppt

材料电子显微分析 电子显微分析 利用TEM、SEM、EPMA等电子光学仪器，对固态物质的微观形貌、组织结构及各组成元素的显微分布等进行实验分析研究，统称为电子显微分析。 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号来进行分析。 电镜的发展历史 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1932～1933年，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜 TEM与OM比较： TEM与SEM比较： TEM分析薄膜样品，用电子束照明，经聚光镜聚焦后照射样品，透射电子经成像系统聚焦、放大、成像，并由荧光屏显示或照片记录。依据样品不同位置透射电子束强度不同成像，得到样品的形貌像；依据电子衍射方向与强度的不同成像，得到样品的衍射像（衍射花样、衍射谱）。 SEM利用由电子光学系统获得的聚焦电子束在样品表面扫描，电子束与样品相互作用产生各种特征信号，经探测、收集、放大、调制由荧光屏显示或照片记录。可获得样品的表面扫描图像。 1 电子光学基础 电子光学分析所使用的仪器其共同特点是采用电子照明，涉及电子光学。 1.1 光学显微镜的局限性 光学显微分析采用可见光照明，由于波长限制，使其最佳分辨率在2000 ?。 从↘照明λ角度考虑： 紫外线 x射线 电子 用于显微镜的一种新的照明源――电子束。 1.2 电子的波长 1924年，物理学家德布罗意提出假说：微观粒子的运动服从波粒二象性。2年后通过电子衍射证实了该假说。 粒子的能量E、动量P与物质波的频率ν、波长λ之间关系为： 公式左侧体现粒子性，右侧体现波动性。 电子的波长 德布罗意波（物质波）的波长为： 式中： －粒子质量， －粒子运动速度， 电子的波长 初速度为0的电子，受到电位差V的电场加速，电子获得的能量为： 式中： －电子电荷， （库仑） －电子质量， 电子的波长 V较低时，电子运动速度远远小于光速， ，带入常数得： 电子波长与其加速电压的平方根成反比。V越高，λ越短。 电子的波长 电镜中电子的加速电压较高，相应电子运动速度↗， ，引入相对论校正： 对于高能电子束，计算必须修正。 电子的波长 当V为100 时，λ约为可见光10-5。 电子做光源可观察到原子级别的细节（固体中原子间距2－5 ?），是一理想光源。 以电子波作为光源的显微镜称为电子显微镜，简称电镜。 1.3 电磁透镜 电子不能凭借光学透镜成像。电场、磁场力使电子束会聚或发散达到成像目的。 电子光学利用高速运动的电子在电场、磁场作用下偏转聚焦而成像的规律进行显微学研究。 用静电场做成的透镜称为“静电透镜”，用磁场做成的透镜称为“磁透镜”。 电镜中静电透镜做电子枪，发射电子束；磁透镜做会聚透镜，起成像放大作用。 磁透镜和静电透镜比较 1.3.1 磁透镜 用磁场使电子波聚焦成像的装置。 当速度为v的电子束进入透镜磁场，受磁场力作用，产生一定运动轨迹。 (1) 电子在均匀磁场中的运动 当 ∥ 时，电子不受磁场影响，作匀速直线运动。 当 ⊥ 时，电子运动速度不变，运动方向发生改变，在与磁场垂直的平面内作匀速圆周运动。 ( )= ,电子作螺旋运动。 (2) 电子在非均匀磁场中的运动 轴对称非均匀磁场 通电的短线圈就是一简单的电磁透镜，造成一种轴对称非均匀磁场。 磁透镜 使电子获得切向速度。 使电子获得径向力，向主轴偏转。 磁透镜 电子切向运动产生 轴向磁场分量对电子切向运动的聚焦作用 电子切向运动造成电子绕轴转动 磁透镜 电子穿过透镜磁场时，速度不变，方向连续偏转，形成复杂的空间轨道－－圆锥螺旋近轴运动。 1.3.2 磁透镜的焦距和放大倍数 磁透镜的物距、像距、焦距、放大倍数之间的关系为： 电磁透镜的焦距 式中：k－常数 V－加速电压 (IN)－安匝数 I－通过线圈导线的电流， N－线圈每cm长度的圈数 磁透镜的焦距和放大倍数 由此可知 ↘ ↗ 当 → ，在 不变的情况下， → 则 ↗（是原来的 倍）。 电磁透镜是一种变焦距（倍数）的会聚透镜。 1.3.3 磁透镜的像差 加速电压10万伏时，电子λ=0.037 ?