洁净室的节能技术解释.ppt

洁净室的节能技术 陈 霖 新 中国电子工程设计院 2004年11月 2、洁净室能量消耗状况分析 2、洁净室能量消耗状况分析 2、洁净室能量消耗状况分析 2、洁净室能量消耗状况分析 4、洁净室节能实例 4、洁净室节能实例 4、洁净室节能实例 1、洁净室设计的特点 1.1 洁净室设计的特点 （1）依据产品、生产工艺、使用要求,确定空气洁净度等 级 超大规模集成电路0.05μm 、1级/0.3μm 、5级 TFT 0.1μm /0.3μm ,3级、4级 HDD 0.1μm /0.3μm , 4级 精细化工 0.3～0.5μm ,5级-8级 药品、生物制品 0.5μm,7级、8级、8.3级，局部5级 （2）设计、建造实现三要素：不引入或少引入 不产生或少产生 不滞留或少滞留 1、洁净室设计的特点 1.2 洁净室的类型 按用途划分:工业洁净室,主要控制对象—微粒 生物洁净室,主要控制对象—微粒、 微生物 按气流型划分:单向流洁净室 非单向流洁净室 混合流洁净室 1、洁净室设计的特点