第五章纳米微粒的制备与表面修饰解决方案.pptx

第五章: 纳米微粒的制备与表面修饰 2013.4.22 老师：王成伟教授 学生：李文琪 主要内容 5.1 气相法制备纳米微粒 5.2 液相法制备纳米微粒 5.3 纳米微粒的表面修饰 纳米微粒制备方法的分类 传统分法 物理方法 化学方法 机械粉碎法方法 液相法 气相法 ！有些气相法制备制备超微粒的过程中并没有化学反应。 ！机械合金化法中涉及化学反应。 普遍的认识是将纳米微粒的制备方法分为3类：即气相法，液相法，高能球磨法。 5.1.1 低压气体中蒸发法（气体冷凝法） 制备方法：在低压的氩、氮等惰性气体中加热金属，使其蒸发后形成超微粒(1～1000nm)或纳米微粒。 加热源有：（i）电阻加热法；（ii）等离子喷射法；（iii）高频感应法；（iv）电子束法；（v）激光法 ！不同的加热方法使得制备出的超微粒的量、品 种、粒径大小及分布等存在一些差别。 气体冷凝法 *即通过在纯净的惰性气体中的蒸发和冷凝过程获得较干净的纳米微粒。 *原物质原子和惰性气体原子碰撞而迅速损失能量而冷却，导致原物质蒸汽中局域过饱和，从而均匀成核。 图5.1 气体冷凝法制备纳米微粒 的原理图 真空度：0.1pa 惰性气体：2kpa 1.通过调节惰性气体压力，蒸发物质的分压即蒸发温度或速率，或惰性气体的温度，可以控制纳米微粒粒径的大小。2.实验表明：随蒸发速率的增加（等效于蒸发原温度的升高）粒子变大，或随着原物质蒸发压力的增加，粒子变大。在一级近似下，粒子大小正比于㏑Pv（Pv为金属蒸气的压力）。如图5-2所示： 结论：随惰性气体压力的增大，粒子近似的成比例增大，大原子质量的惰性气体将导致大粒子。 图5.2 Al,Cu的超微粒平均直径与He,Ar,Xe惰性气体压力的关系 5.1.2 活性氢-熔融金属反应法 原理：含有氢气的等离子体与金属间产生电弧，使金属熔融，电离的N2，Ar等气体和H2融入熔融金属，然后释放出来，在气体中形成了金属的超微粒子，用离心器、过滤式收集器使微粒与气体分离而获得纳米微粒。 优点：超微粒的生成量随等离子气体中的氢气浓度增加而上升。 5.1.3 溅射法 原理：电极间施加电压，辉光放电使Ar离子形成，在电场的作用下Ar离子冲击阴极靶材表面，使靶材原子从其表面蒸发出来形成超微粒子，并在附着面上沉积。 粒子的大小及尺寸分布主要取决于两电极间的电压、电流和气体压力。靶材的表面积愈大，原子的蒸发速度愈高，超微粒的获得量愈多。 Ar气：40~250pa 电压：0.3~1.5kv 直流溅射和射频溅射 直流溅射 在阳极基片和阴极靶之间加一个直流电压，阳离子在电场的作用下轰击靶材，它的溅射速率一般都比较大。但是直流溅射一般只能用于金属靶材。 射频溅射 交流电源的正负性发生周期交替，当溅射靶处于正半周时，电子流向靶面，中和其表面积累的正电荷，并且积累电子，使其表面呈现负偏压，导致在射频电压的负半周期时吸引正离子轰击靶材，从而实现溅射。 溅射法制备纳米微粒的优点 可制备多种纳米金属，包括高熔点和低熔点金属。 能制备多组元的化合物纳米微粒。 通过加大被溅射的阴极表面可提高纳米微粒的获得量。 11 5.1.4 流动液面上真空蒸度法 基本原理：在高真空中蒸发的金属原子在流动的油面内形成极超微粒子。 产品为含有大量超微粒的糊状油。 图1-4为制备装置的剖面图： 真空下蒸馏处理 12 此方法的优点有： 可制备平均粒径约3nm的超微粒， 而惰性气体蒸气法时很难获得这样小的微粒。 粒径均匀，分布窄（如图） 超微粒分散的分布在油中,处于孤立状态等等。 粒径的尺寸可控，即通过改变蒸发条件来控制粒径的大小。 13 5.1.5 通电加热蒸发法 制备方法：通过碳棒与金属相接触，通电加热使金属熔化，金属与高温碳素反应并蒸发形成碳化物超微粒子。制备装置图为5-6所示： 14 SiC超微粒的获得量随电流的增大而增多。 惰性气体不同,超微粒的大小也不同，一般使用Ar气形成较大颗 粒，而使用He气形成 较小的球形颗粒。 用此种方法还可以制备Cr，Ti，V，Zr，W等碳化物超微粒子 Ar或He：1~10kpa 碳棒与硅间的电流：几百安培 15 5.1.6 混合等离子法 制备方法：采用RF等离子与DC等离子组合的混合方式来获得超微粒子。装置如图1-7所示 16 该制备方法有以下几个特点： 产生RF等离子体时没有采用电极，不会有电极物质混入等离子体而导致等离子体中含有杂质，因此超微粒子纯度高。 可使用反应气体，因此，可制备化合物超微粒子，产品多样化。 等离子所处空间大，气体流速比DC等离子体慢，物质可以充分加热。 17 混合等离子体制取超微粒的方法： 等离子蒸发法：大颗粒金属与气体流入等离子室生成金属超微粒子； 反应性等离子蒸发法：大颗粒金属与气体流入等离子室的同时，通入